Способ рентгеноспектрального анализа качества абразивов поверхности Советский патент 1991 года по МПК G01B15/00 

со

с

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к области определения рентгеноспектральным методом абразивных включений на поверхности деталей, Целью изобретения является повышение информативности за счет определения также и размеров абразивных включений. Облучение контролируемой поверхности проводят при перемещении образца или ионизирующего пучка диаметром, соразмерным с диаметром, абразивных частиц, а именно 2 - 5 мкм. Диа метр абразивных зерен определяют по тарировочной кривой по измеренной интенсивности излучения от каждой абразивной частицы.

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к области способа определения рентгеноспектральным методом абразивных включений на поверхности деталей.

Цель изобретения - повышение информативности за счет определения также и размеров абразивных включений.

Первичное ионизирующее облучение исследуемой и эталонной поверхностей проводят пучком, диаметр которого соизмерим с размером определяемых частиц. При указанном условии становится возможной регистрация интенсивностей линии спектра вторичного рентгеновского излучения непосредственно тех элементов, которые содержатся в абразивных частицах образцов В совокупности с тем, что эталонные образцы выбирают с известным содержанием определяющих веществ и известными их

размерами, обеспечивается возможность количественного определения с высокой точностью абразивных частиц, их размеров и плотности распределения на исследуемой поверхности.

Способ осуществляется следующим об- разом.

Поверхность исследуемого образца облучают пучком первичного ионизирующего излучения, а именно пучком ускоренных электронов, с помощью микроанализатора МАР-2, предварительно настроенного известным методом на регистрируемый элемент, в частности при контроле образцов с частицами из электрокорунда - на алюминий, из карбида кремния - на кремний, из твердосплавных частиц на основе, например, вольфрама .- Hd вольфрам Облучение проводят при перемощении образца или ионизирующего пучка диаметром, соразО

VI VI ел

VI

мерным с диаметром абразивных частиц, а именно 2-5 мкм, при ускоряющем напряжении 25 кВ и токе зоИда 0,5 мА. По результатам измерений интенсивностей вторичного рентгеновского характеристического излу- чения судят о количестве абразивных частиц и их размерах. При этом для определения размера частиц используют тарировочную кривую, полученную предварительно по результатам измерений эта- лонного образца, в качестве которого берут образец из материала, аналогичного обрабатываемому, с внесенными в его поверхность абразивными частицами, химический и грануометрический составы которых находятся в соответствии с материалом абразивного режущего инструмента, используемого в процессе обработки исследуемой поверхности с образца. Облучение эталонного образца проводили на приборе микроаналиэаторе МАР-2, настроенном на измерение вторичного рентгеновского излучения по линиям алюминия, при ускоряющем напряжении 25 кВ, токе зонда 0,5 мА и диаметре зонда 3 мкм. Диаметр абразивных частиц измеряют с помощью оптического микроскопа микроанализатора. Затем по результатам измерений интенсивностей излучения от абразивных частиц и их диаметров строят тарировочную кри- вую. Исследуемый образец промывают

растворителем, например этиловым спиртом, устанавливают в михрбанализатор МАР-2 с зондом 3 мкм, выбирают участок для исследования, например, размерами 0,6x0,6 мм и при перемещении образца в продольном направлении проводят облучение электронным пучком при ускоряющем напряжении 25 кВ и токе зонда 0,5 мА последовательно всего выбранного участка, фиксируя, при этом интенсивности вторичного излучения.

Формула изобретения Способ рентгеноспектрального анализа качества абразивов поверхности, заключающийся в том, что выбирают образец с эталонной поверхностью, на эталонную и исследуемую поверхности последовательно направляют пучок первичного ионизирующего излучения, регистрируют спектр интенсивности вторичного характеристического рентгеновского излучения, выделяют характеристические линии спектра исследуемого материала и по ним судят о качестве поверхности, отличающий- с я тем, что, с целью повышения информативности за счет определения также и размеров абразивных включений, облучение проводят пучком первичного ионизирующего излучения диаметром 2-5 мкм. .