СПОСОБ ФОРМИРОВАНИЯ ОМИЧЕСКИХ КОНТАКТОВ К КРЕМНИЮ Советский патент 2012 года по МПК H01L21/28

Похожие патенты SU1292628A1

название	год	авторы	номер документа
Способ получения полимерных покрытий	1979	Соколов Борис Феодосьевич Ломакин Анатолий Тимофеевич Луцкий Валерий Григорьевич	SU887029A1
Способ получения нанодисперсного изотопно-модифицированного борида молибдена	2023	Корнев Антон Романович Корнев Роман Алексеевич	RU2811828C1
СПОСОБ ЛЕГИРОВАНИЯ КРЕМНИЯ	2014	Зельцер Игорь Аркадьевич Трунин Евгений Борисович	RU2597389C2
СПОСОБ НАНЕСЕНИЯ ИЗНОСОСТОЙКИХ ПОКРЫТИЙ И ПОВЫШЕНИЯ ДОЛГОВЕЧНОСТИ ДЕТАЛЕЙ	1999	Падеров А.Н. Векслер Ю.Г.	RU2161661C1
Способ получения ароматических альдегидов	1975	Сусуму Фудзияма Такехико Такахаси Минору Такагава Сидеки Озао	SU944499A3
НЕВОДНЫЙ ЭЛЕКТРОЛИТИЧЕСКИЙ РАСТВОР, СОДЕРЖАЩИЙ ИОНЫ МАГНИЯ, И ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКОЕ УСТРОЙСТВО С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ ЭТОГО РАСТВОРА	2009	Ямамото Кента Накаяма Юри Сенда Юи	RU2479077C2
ГАЗОНЕПРОНИЦАЕМАЯ ЕМКОСТЬ	2002	Мозер Ева Мария Реллер Армин	RU2298724C2
СПОСОБ ПЛАЗМЕННОЙ МОДИФИКАЦИИ МЕМБРАНЫ ПРИ ИЗГОТОВЛЕНИИ МЕМБРАННО-ЭЛЕКТРОДНОГО БЛОКА ТОПЛИВНОГО ЭЛЕМЕНТА	2012	Акелькина Светлана Владимировна Коробцев Сергей Владимирович Милославская Светлана Викторовна Григорьев Сергей Александрович Астановский Дмитрий Львович Астановский Лев Залманович	RU2537962C2
ГАЗОВЫЙ ЛАЗЕР С ПРОДОЛЬНЫМ РАЗРЯДОМ	1993	Ищенко П.И. Ескин Н.И. Кононенко В.И.	RU2054770C1
Способ получения 1,3-эписеленопропанола-2	1981	Мамедов Эркин Шамхал Оглы Курбанов Султан Бахшали Оглы Мишиев Роберт Данилович Наджаров Александр Александрович Шахтахтинский Тогрул Неймат Оглы	SU1028666A1

Реферат патента 2012 года СПОСОБ ФОРМИРОВАНИЯ ОМИЧЕСКИХ КОНТАКТОВ К КРЕМНИЮ

Способ формирования омических контактов к кремнию, включающий нанесение молибдена на поверхность кремниевой подложки катодным распылением в тлеющем разряде в газовой среде, содержащей трехфтористый бор, отличающийся тем, что, с целью улучшения качества контактов и повышения производительности способа, катодное распыление осуществляют в газовой среде состава, об.%:

Водород 15-30 Трехфтористый бор Остальное

при давлении 5·10^-2-8·10^-2 Па и плотности мощности разряда 0,1-0,5 Вт/см².

SU 1 292 628 A1

Авторы

Шепурёв С.Ю.

Снитовский Ю.П.

Принцев Г.В.

Даты

2012-03-20—Публикация

1985-04-19—Подача