Способ изготовления носителя магнитной записи Советский патент 1987 года по МПК G11B5/851 

Изобретение относится к технологии осаждения металлических покрытий в вакууме, в частности к технологии получения носителя магнитной записи.

Целью изобретения является упрощение технологического процесса и улучшение качества носителя.

Способ осуществляют следующим образом.

На подготовленную основу носителя нанодавая периодическую неоднородность поверхности носителя магнитной записи.

Травление в высокочастотной плазме аргона при давлении 510 торр и напряжении UB-I 1,5 кВ позволило увеличить коэрцитивную силу образца Со-W с 350 до 460 Э за 20 мин.

Формула изобретения

Способ изготовления носителя магнитной записи путем подготовки основы, напылесят магнитный слой из Со, или Ni, или Fe, 10 ния магнитного слоя в вакуумной камере или их сплавов, например, посредством ка- и последующего формирования рельефа нетодного напыления в вакуумной камере. Затем вакуумную камеру заполняют инертньш газом, например, аргоном при давлении 10 -- торр и осуществляют процесс катодного распыления, в котором катодом является изготовляемый носитель. При этом ионы газа выбивают материал носителя преимущественно по границам кристаллитов, соз15

однородностей травлением магнитного слоя, отличающийся тем, что, с целью упрощения технологического процесса и улучшения качества носителя, формирование рельефа не- однородностей осуществляют травлением магнитного слоя в плазме инертного газа в процессе катодного-распыления, в котором катодом является носитель магнитной записи.

давая периодическую неоднородность поверхности носителя магнитной записи.

Травление в высокочастотной плазме аргона при давлении 510 торр и напряжении UB-I 1,5 кВ позволило увеличить коэрцитивную силу образца Со-W с 350 до 460 Э за 20 мин.

Формула изобретения

Способ изготовления носителя магнитной записи путем подготовки основы, напыления магнитного слоя в вакуумной камере и последующего формирования рельефа не

однородностей травлением магнитного слоя, отличающийся тем, что, с целью упрощения технологического процесса и улучшения качества носителя, формирование рельефа не- однородностей осуществляют травлением магнитного слоя в плазме инертного газа в процессе катодного-распыления, в котором катодом является носитель магнитной записи.

Изобретение относится к технологии осаждения металлических покрытий в вакууме, в частности к технологии получения носителя магнитной записи. Цель изобретения - упрощение технологического процесса и улучшение качества носителя. На основу носителя посредством катодного напыления в вакуумной камере наносят магнитный слой. В плазме инертного газа осуществляют процесс катодного распыления, при котором в катоде, в качестве которого использован носитель магнитной записи,создается ионами газа периодическая неоднородность поверхности. ьо ;о