Раствор для избирательного травления меди Советский патент 1987 года по МПК C23F1/18 C23F1/00 

Изобретение Ьтносится к химической обработке меди, в частности для избирательного травления меди в структу- ре: медь - никель-молибденовый сплав- легкоплавкое стекло.

Целью изобретения является повышение скорости травления меди и снгасе- ние растравливания подложки.

Раствор готовят обычным способом.

мешивания раствора добавляют воду до расчетного объема.

Пример. Проводят избирательное травление меди в структуре: медь толщиной 50-60 мкм - резистивная фольга толщиной 3-10 мкм. Проводят также сравнительные испытания растворов для избирательного травления меди с поверхности никель-молибденовой фольги

говых резисторов на подложке из легкоплавкого стекла.

а именно растворяют в воде (1/2объе- при изготовлении прецизионных фоль- ма) при 20-30 0 персульфат аммония, добавляют расчетное количество 25%-но- го раствора аммиака и затем расчетное количество хлористого аммония. Результаты испытаний представлены После растворения последнего 8 пере- в таблице.

(NH),S,Og

75 г/л 375 Mii/r

(NH),S,Og 35% Избыток аммиака

250 г/л

(50 вес.ч.)

745,5 г/л

(до рН 9)

250 г/л

(50 вес.ч.)

(NH,),S,Oj

(25%-ный раствор)

Вода

(NH,),S,Og

NH40H

(25%-ный раствор)

Ш,С1 Вода

150 г/л 270 г/Л

12 г/л До 1 л

300 г/л

450 г/л

50 г/л До 1 л

мешивания раствора добавляют воду до расчетного объема.

Пример. Проводят избирательное травление меди в структуре: медь толщиной 50-60 мкм - резистивная фольга толщиной 3-10 мкм. Проводят также сравнительные испытания растворов для избирательного травления меди с поверхности никель-молибденовой фольги

говых резисторов на подложке из легкоплавкого стекла.

при изготовлении прецизионных фоль- Результаты испытаний представлены в таблице.

17-19 1,6-2,0

1.10- 1-10

г5

17-18 0,5-0,7

9-1010-5

3-4

(5-6) 10-з (5-7)-10

г

17-18 4-5

5-10

2 -10

-S

17-20 6-8

6-10

8-10

-

200 г/л 360 г/л

24 г/л До 1 л

200 г/л 360 г/л

10 г/л До 1 л

0

(NH),S,0,

(25%-ный

раствор)

Вода

(NH,),S,Og

(25%-ный раствор)

Вода

(NH),S,03

(25%-ный

раствор)

Вода

200 г/л 60 г/л

60 г/л До 1 л

140 г/л 260 г/л

10 г/л До 1 л

320 г/л 500 г/л

60 г/л

До 1 л

Примеры 1-3 известных ранее составов; примеры 4-6 предлагаемого состава, пример 6 является оптимальньм составом, 7-10 - примеры растворов с запредельными значениями содержания компонентов.

- L I

Как следует из таблицы (пример 8), Ш,С1 не влияет на скорость травления дальнейшее увеличение содержания меди, но в то же время намечается тенПродолжение таблицы

25-30 9-10

2.10-3

5-10

25-30 2-4

1-10

25-30 8-9

5ЧО 3

2-3

5-6

денция роста скорости растворения легкоплавкого стекла.

Сравнительные испытания по скорос- ти растворения меди, сплава и легкоплавкого стекла известного (пример 3) и предлагаемого растворов показали, что при использовании предлагаемого раствора повьшается скорость растворения меди в 2-3 раза при уменьшении расхода в 10 раз и 25%-ного NH;,OH в 2 раза.

В результате повышения скорости растворения меди повышается производительность труда при селективном удалении меди с поверхности из никель-молибденового сплава.

Редактор С. Пекарь Заказ 1194/28

Составитель В. Олейничелко

Техред М.Ходанич Корректор М- Самборская

Тираж 937 . Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР

по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4

рмул

6

зоб

ратания

Раствор для избирательного травления меди преимущественно с подложки из никель-молибденового сплава и легкоплавкого стекла, содержащий персульфат аммония, гидрат окиси аммония и хлористый аммоний, отличающийся тем, что, с целью повьшге- ния скорости травления меди и снижения растравливания подложки, он содержит к,омпоненты в следующем соотношении, г/л:

Персульфат аммония 150-300 Гидрат окиси аммония (25%)270-450 Хлористый аммоний 12-50

Изобретение относится к химической обработке меди, в частности к раствору для избирательного травления меди в структуре: медь - никель - молибденовый сплав - легкоплавкое стекло, и может быть использовано в радиоэлектронной и злектроприборост- роительной промышленности Цель изобретения - повышение скорости травления меди и снижение растравливания подложки. Травление слоя меди на никель-молибденовом сплаве проводили в растворе, содержащем, г/л: персульфат аммония 150-300; гир.рат окиси аммония 270-450 и хлористый аммоний 12-50. Выбранное соотношение компонентов обеспечивает повьшение скорости травления меди в 2-3 раза по сравнению с известным раствором. 1 табл. с S 00