Устройство для исследования поверхности твердого тела Советский патент 1987 года по МПК H01J37/20 

Изобретение предназначено для исследования поверхности твердого тела и может быть использовано в приборостроении.

Целью изобретения является повышение производительности и расширение функциональных возможностей устройства.

На фиг. 1 изображено предлагаемое устройство, общий вид, разрез; на фиг. 2 - шток с системой приводов вид сверху; на фиг. 3 - сечение А-А на фиг. 1.

Устройство содержит корпус 1 с системой 2 уплотнений, предназначенный для вакуумплотного закрепления в нем штока 3, предназначенного для перемещения из атмосферы в вакуум объектоносителя 4. Объек- тоноситель выполнен в виде гибкой замкнутой ленты 5, натянутой между двумя подпружиненными роликами 6 и 7 с закрепленными по всей длине ленты объекто- держателями 8 с образцами 9, изолированными друг относительно друга (фиг. 1). Объектоноситель жестко связан с приводом 10 перемещения объектоносителя (фиг. 2) посредством двух пар конических зубчатых колес 11 и 12, тяги 13, уплотненной в штоке 3, и валика 14. С ведомым колесом зубчатой пары 11 жестко связан кулачок 15 (фиг. 3), имеющий рабочий выступ, обеспечивающий контакт с лентой 5, а также с рычажной скобой 16, системой синхронных подпружиненных толкателей 17 и объектодержателями 8 с закрепленными в них образцами 9. Расстояние между двумя смежными объектодержателями 8 кратно расстоянию между двумя оптическими осями 2-лучевого анализатора.

Устройство работает следующим образом.

Загрузка образцов производится на атмосфере при отведенной (сдвинутой в осевом направлении) гильзе. Введение штока с образцами в область откачки на форвакуум, а затем - в высоковакуумную магистраль осуществляется по известной схеме.

Вращение от привода 10 перемещения объектоносителя 4 передается на кулачок 15 посредством валика 14, двух пар конических зубчатых колес 12 11 и тяги 13. Рабочий выступ кулачка 15 входит в зацепление с углублениями в ленте 5 (фиг. 1) и перемещает ее по ходу часовой стрелки, либо против хода, на величину., кратную расстоянию между двумя оптическими осями в 2-лучевом анализаторе. При дальнейшем вращении кулачка рабочий его выступ выходит из зацепления с лентой, что приводит к остановке ее.

Затем при дальнейшем вращении кулачка рабочий выступ его воздействует на рычажную скобу 16. Скоба при этом перемещается вверх, воздействуя на систему

5

синхронных подпружиненных толкателей 17. Осевое усилие от толкателей передается на пару подпружиненных объектодержателей геометрические оси которых в данный мо- мент совпадают с геометрическими осями двухлучевого анализатора. Пара образцов в объектодержателях перемещается вверх до обеспечения контакта с рабочей поверхностью анализатора. Разность в высоте образцов компенсируется при помощи толкаю0 щей 17, подпружиненных относительно рычажной скобы 16.

После завершения анализа одновременно двух образцов вращением кулачка по ходу часовой стрелки (либо против хода) осуществляется отжатие образцов от рабочей поверхности анализатора и перевод ленты 5 на величину, кратную расстоянию между двумя оптическими осями в 2-лучевом анализаторе. Таким образом, осуществляется ввод для проведения анализа новой пары

0 образцов. В дальнейшем цикл повторяется.

I

Конструкция предлагаемого устройства позволяет производить многократный повтор анализа образцов (при необходимости) без перезарядки объектодержателей, а следова5 тельно, без ухудшения вакуума в системе, состава среды, чистоты поверхности исследуемых образцов.

Формула изобретения Устройство для исследования поверхности твердого тела, содержащее корпус с системой уплотнений, камеру предварительной откачки, камеру высоковакуумной откачки, канал для соединения с анализатором, щток с объектоносителем, размещенный в корпусе, и механизм осевого перемещения штока, отличающееся тем, что, с целью повышения производительности и расширения функциональных возможностей, канал выполнен в виде двух от0 верстий для соединения с 2-лучевым анализатором, а Объектоноситель выполнен в виде гибкой замкнутой ленты, перфорированной по краям отверстиями, расположенными на расстоянии кратном расстоянию .между . отверстиями канала, натянутой между двумя

5 подпружиненными роликами и снабженный объектодержателями, расположенными на расстоянии кратном расстоянию между отверстиями .канала и снабжен кулачком с двумя рабочими выступами, выполненными с возможностью контактирования с отверс0 тиями в ленте и обеспечения одновременного поджатия двух объектодержателей к отверстиям канала посредством рычажной скобы и подпружиненных толкателей.

5

Г

А-/

15

фиг.

Изобретение относится к приборостроению. Цель - повышение производительности и расширение функциональных возможностей устройства для исследования поверхности твердого тела. Устройство соIS.,9 1 6 П 5 16 17 7 г Откачка на 6. Вакуум держит корпус 1 с системой уплотнений 2, шток 3 для перемещения объектоносите- ля (ОН) 4 с приводом. Цель достигается тем, что ОН 4 выполнен в виде гибкой замкнутой ленты 5, натянутой между двумя подпружиненными роликами 6 и 7 с закрепленными по всей длине ленты объекто- держателями 8 с образцами 9 на расстоянии, кратном расстоянию между отверстиями канала, который выполнен в виде двух отверстий для соединения с 2-луче- вым анализатором 18. С ведомым колесом зубчатой пары жестко связан кулачок, имеющий рабочий выступ, обеспечивающий контакт с лентой 5, а также с рычажной скобой 16, системой синхронных подпружиненных толкателей 17 и об ьекто- держателями 8. 3 ил. на cpopBuKtjijM В (Л оо о ГчЭ ОО ел uzA