Вакуумный манипулятор Советский патент 1992 года по МПК H01J37/20 

А- А

Ј

Изобретение относится к вакуумной технике и может быть использовано в электронной спектроскопии. Целью изобретения является сокращение времени подготовки и ввода пробы и расширение функциональных возможностей за счет обеспечения выборочного анализа проб, Устройство содержит вакуумную камеру предварительной подготовки проб, в которой расположен зубчато- реечный телескопический механизм 3 с вакуумным вводом 4 и кассета 5, выполненная в виде вращающегося барабана с пружинными захватами для образцов.

(Л

16

3

О

ел

СО ОЗ

ж

74 77

Носитель 18 с пробой в подложке Вводится в вакуумную камеру и устанавливается над кассетой 5. Вращением рукоятки вакуумного ввода 7 толкатель 10 с выступами обеспечивает отклонение кассеты от оси вращения с центром в районе гибкого элемента навстречу носителю 18. С помощью пружинного захвата проба передается с носителя 18 на кассету, после чего кассета возвра

Изобретение относится к вакуумной технике, в частности к вакуумным манипуляторам и вводам высоковакуумных установок для электронной спектроскопии, и может быть применено в областях науки и техники для исследования поверхности твердых тел и обеспечения возможности проведения химического анализа металлов, определения энергии связи электронов внутренних валентных оболо чек атомов и т.д.

Цель изобретения - сокращение времени подготовки и ввода пробы в анализатор и расширение функциональных возможностей за счет обеспечения выборочного анализа проб.

На фиг. 1 представлено устройству, общий вид; на фиг. 2 - разрез А-А на фиг. 1; на фиг. 3,4 - кассета, в двух проекциях; на фиг. 5,6 - то же, разрез ..

Устройство состоит из вакуумной

камеры 1 предварительной подготовки проб с фланцем 2 для высоковакуумной откачки, соединённой через фланец .с вакуумной камерой анализатора (не показано). В вакуумной камере предварительной подготовки проб расположен зубчато-реечный механизм телескопический 3 г. вакуумным вводом 4, а также кассета 5, выполненная в виде барабана с ячейками, содержащими пружинные захваты для подложек с образцом, каждая из которых гнабжена подложкой с образцом фиг. 3. Кассета имеет два вакуумных ввода 6 и 7 и жестко закреплена на оси вращения 8 с гибким элементом 9, соединенной с толкателем 10. Зубчато-реечный телескопический механизм 3 имеет шток-рейку 11 с направляющей 12 и носитель 13, расположенный на конце шток-рейки. Плюзовая ка9134

щается в исходное положение. Поворотом вокруг оси можно заполнить пробами всю кассету. Для подачи проб в анализатор носитель останавливают перед кассетой 5, которая отклоняется толкателем 10 от своей оси навстречу держателю штока-рейки, после чего проба снимается с кассеты и подается в анализа тор. 6 ил.

О

0

5

0

5

0

5

0

5

мера 14. с уплотнителем 15 и клапаном t6 имеет шток 17 с носителем образцов 18 ввода 19. Вакуумная камера 1 предварительной подготовки проб перекрывается клапаном 16 ввода 19. Клапан 20 предназначен для подачи проб в камеру анализатора.

Устройство работает следующим образом.

Подложка с пробой устанавливается в носителе 18 штока 17 вакуумного ввода 19 шлюзовой камеры 14 в атмосфере при перекрытой клапаном 16 вакуумной камеры 1 предварительной подготовки проб. После этого шлюзовая камера 14 герметизируется и откачивается до среднего вакуума, далее, открыв клапан 16 вводится носитель 18 с пробой в подложке в вакуумную камеру 1 предварительной подготовки проб для передачи пробы в ячейки с держателями кассеты 5, при этом носитель устанавливается над кассетой. Вращением рукоятки вакуумного ввода 7 толкатель 10 с выступами обеспечивает отклонение кассеты от оси вращения с центром в районе гибкого элемента 9 навстречу носителю 18 штока 17 вакуумного ввода 19. С помощью пружинного захвата кассеты фиг. 3 носитель 18 передает пробу на кассету, после этого шток 17 ввода 19 и кассета 5 возвращается- в исходное положение. Таким образом поворотом вокруг оси 8 можно заполнить пробами всю кассету 5. Дпя подачи пробы в камеру анализатора (не обозначена) открывается клапан 20 и вращением рукоятки вакуумного ввода 4 осуществляется поступательное движение штока-рейки 11 зубчато-реечного телескопического механизма 3 с за- : крепленным на конце носителем 13. При этом носитель 13 останавлива ется перед кассетой 5, которая вращением рукоятки вакуумного ввода 7 отклоняется толкателем 10 от своей оси вращения навстречу держателю штока-рейки, после чего проба снимается с кассеты носителем 13. Установленная на шток- рейке 11 подложка с пробой подаются в анализатор. Отработанная проба с подложкой возвращаются в вакуумную камеру 1 предварительной подготовки проб штоком-рейкой 11 обратным ходом механизма. Вращение кассеты для установки и снятия с нее подложек с образцом относительно оси вращения осуще- ствляется вращением рукоятки вакуумного ввода 6.

Предлагаемый манипулятор позволяет выполнять выборочный поэтапный ввод проб в анализатор без нарушения ваку- ума и чистоты проб, а сохранение в камере предварительной подготовки проб высокого вакуума позволяет значительно сократить время ввода пробы и ее подготовки к анализу. Дополнительный ввод манипулятора через шлюз малого объема позволяет производить анализ проб в любой последовательности без

нарушения вакуума и чистоты проб, и в делом получать качественный и быстрый анализ проб.

Формула изобретения

Вакуумный манипулятор, содержащий камеру предварительной подготовки проб с фланцем для высоковакуумной откачки, соединенную с вакуумной камерой анализатора и включающую зубчато-реечный телескопический элемент с вакуумным вводом, а также кассету с носителем хрбразцов, отличающийся тем, что, с целью сокращения времени подготовки и ввода пробы в анализатор и расширения функциональных возможностей за счет обеспечения выборочного анализа проб, он снабжен шлюзовой камерой с клапаном, в которой установлен шток с носителем образца для ввода пробы, а кассета выполнена в виде вращающегося барабана с пружинными захватами для образцов, двумя вакуумными вв.одами и жестко закреплена на оси вращения с гибким элементом, соединенной с толкателем.

фиг1

-qjФив.З

Фи г. 5

Редактор М.Товтин

Составитель Н.Катинова

Техред А.Кравчук Корректор С. Шекмар

Заказ 198

Тираж

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Фиг4

Фиг. 6

Подписное