Устройство для откачки и наполнения электровакуумных приборов Советский патент 1987 года по МПК H01K3/24 H01J9/38 

тия 14„ При этом осколки стекла и другие загряанекрш сосредотачиваются вблизи дна 18 ловушки. При промывке и наполнении, газ через полость 15 корпуса 1 и отверстия 14 поступает и электровакуумный прибор. При этом газ, минует ту часть ловушки, где сосредоточены загрязнения и осколки

1

Изобретение относится к электротехнике и может быть использовано при изготовлении электровакуумньпс Приборов для их откачки и наполнения.

Цель изобретения - улучшение качества электровакуумных приборов путем исключения попадания в них осколков стекла и загрязнений.

На чертеже показано устройство для откачки и наполнения электрова- ,куумных приборов.

Устройство для откачки и наполнения электровакуумных приборов состоит из .корпуса 1 , в верхней части кос

торого расположено гнездоj состоящее из гайки 2 и уплотнительного кольца 3 В корпусе 1 установлено четыре клапана: клапан 4 для низкого вакуума, клапан 5 для высокого 1 акуумау клапан 6 для промывок ламша,, клапан 7 для наполнения лампы наполнительным газом соответственно через трубопроводы 8 - 11. В корпусе 1 ycTaiiOB- лена ловушка 12 для осколков стёкла и других загрязнений с поперечными отверст 1ями 13 и 14. Вокруг ловушки в корпусе имеются полости. Верхняя основная полость 15 имеет, выход к системам, подающим Таз, а дополнительная полость 16 имеет выход к от- качньп 1 системам. Полости разделены перегородкой 17, выполненной в корпусе 1, Дно ловушки 12 выполнено разьемным и состоит из колпачка 18 и шпильки 19. Каждый клапан снабжен сильфонным вводом 20 и механизмом 21 открытия клапана, который управляетс кулаком 22. Нижняя полость корпуса 1 , закрыта крышкой 23

Продольный осевой канал 24 ловушки 12 сообщается с осевым каналом 25

334219

стекла и не заносит их в электровакуумный прибор. Благодаря раздельному пути откачки и наполнения и выбору поперечных отверстий в ловушке соответствующего диаметра удается избежать загрязнения электровакуумных приборов, что улучшает их качество. 2 3 . п. ф-лы. ,, 1 ил.

гнезда и пoп:epeчньn JИ отверстиями 13 и 14.

Устройство работает следующим образом.

Электровакуумный прибор вставляется штенгелем в гнездо и поворотом гайки 2 сжимается уплотнительное кольцо 3, тем самым- уплотняя штен- гель. Затем поворотом кулака 22 механизм 21 открытия клапана открывает клапан 4 и лампа соединяется трубо- проводом 9 низковакуумной откачки.После предварительной откачки клапан 4 закрывается и открывается клапан 5 для высоковакуумной откачки. При откачках газ, проходя через штенгель, проходит по осевому каналу 24 ловушки 1 2 и через .отверстия 13, имеющие диаметр меньший, чем отверстия 14, попадает в вакуумные клапаны. При этом осколки стекла и другие загрязнения благодаря расширенной части ловушки 12 и малым отверстиям в ней сосредотачиваются вблизи дна 18 ловушки. Для промывок открывается клапан б и газ из клапана через полость 15 корпуса 1 и отверстия 14 ловушки попадает в электровакуумный прибор. После промывки начинается очередной дикл откачек. Затем электровакуумный прибор наполняетс.я газом через клапан 7. Наполняющий газ так же как и промывочн.ый минует ту часть ловушки, где сосредоточены загрязнения, и темсамым обеспечивается чистота промывочного и наполнительног о газа.

В устройстве основная полость 15 соединена с трубопроводами 10 и 11 для наполнения тазом, а дополнительная полость - с откачными трубопроводами 8 и 9. Отверстия ловутики в дополнительной полости 16 корпуса вы

313342194

полнены меньшего диаметра, чем в по- осевым отверстием, предназначенным лести 15. В полости 16 ловушки диа- для установки штенгеля, расположенное метр отверстий выбран не менее в верхней части корпуса над ловуш- 0,07 мм, что обусловлено сохранени- . кой, и трубопроводы для откач.ки и наем достаточного проходного сечения полнения, отличающееся , ловушки, и не более 0,4 мм для задер- тем, что, с целью улучшения качества жания осколков стекла соответствую- электровакуумных приборов путем ис- щих размеров. В основной полости 15 ключения попадания в них осколков ловушки диаметр отверстий выбирают д стекла и загрязнений,.оно снабжено более внутреннего диаметра штенгеля дополнительной полостью, расположен- электровакуумного прибора для исклю- ной соосно с основной и отделенной чения возможности задержки осколков , от нее перегородкой, образованной стекла из него и затем заброса их в соприкасающимися между собой стенками прибор при наполнении. С -целью об- 5 корпуса и ловушки, причем основная легчения обслуживания дно ловушки вы- полость соединена с трубопроводами поливно в виде съемного колпака. для наполнения, а дополнительная - с

трубопроводами для откачки.

2. Устройство по п. 1, о т л и- Формула изобретения 20. °Щ тем, что поперечные

отверстия ловушки в дополнительной по,1. Устройство для откачки и напол- лости имеют меньший диаметр, ч ем от- нения электровакуумных приборов, со- верстия ловушки в основной полости, держащее корпус с полостью, в которой 3. Устройство по пп. 1 и 2, о т - установлена ловушка, имеющая продоль- 25личающее ся тем, что дно ло- ный осевой канал-и сообщающиеся с вушки выполнено в виде съемного кол- ним поперечные отверстия, гнездо с пака.

Изобретение относится к электротехнике и может быть использовано при изготовлении электровакуумных приборов для их откачки и наполнения. Цель изобретения - повышение качества электровакуумных приборов. После размещения штенгеля электровакуумного прибора в гнезде производят пред-, варительную откачку через клапан 4 и высоковакуумную через клапан 5.При откачке газ проходит по осевому каналу ловушки 12 и через отверстия 13, имеющие диаметр меньщий, чем отверс 1 S С/) 13