Вакуум-установка для металлизации изделий Советский патент 1961 года по МПК C03C17/09 C03C17/00 

Описание патента на изобретение SU134832A1

Известны вакуумные установки для металлизации испарением, состоящие из вакуум-колокола, форвакуумного насоса, вакуум-кранов, трубопроводов, неподвижных испарителей и пластинчатых или стержневых электродов для очистки заготовки.

Описываемая вакуум-установка улучшает очистку поверхности заготовки и обеспечивает равномерное покрытие ее металлом.

Это достигается тем, что электроды для очистки иоверхности заготовки выполнены сетчатыми, а испарители - подвижными, смонтированными на реверсивно подвижной каретке, двигающейся мелсду заготовками вдоль всего их фронта.

На фиг. изображена принципиальная схема вакуумной установки; на фиг. 2 - принципиальная схема расположения заготовок, высоковольтных электродов и испарителей.

На вакуумной камере 1 с крышками 2 и 5 монтируется высоковакуумный затвор 4, электромагнитные форвакуумные краны 5 и 6, форвакуумный насос 7, диффузионный насос 8 и система трубопроводов.

Арматура вакуумного аппарата состоит из высоковольтных сетчатых электродов 9, Ю, расположенных параллельно заготовкам //, 12, закрытым с нерабочей стороны экранами 13, 14, предохраняющими лицевую сторону заготовок от залета на них испаряемых материалов с расположенных горизонтально между заготовками испарителей 15, Движенле каретке 16 с испарителями 15 передается от электродвигателя П через червячный редуктор 18, звездочки 19, 20 и роликовую цепь 21Бесконтактный токосъемник представляет собой разделительный трансформатор, у которого вытянутая в длину камеры ) первичная обмотка 22 неподвижна, а вторичная обмотка с магнитопроводом 23 свя зана с движущейся кареткой 16.

К концам вторичной обмотки присоединены две штанги 24, которые подводят ток к испарителям 15, представляющим собой жгуты в виде лодочек из тугоплавкового материала, на которые навещивается фольга

№134832-2из испаряемого материала. В исходном положении каретка 16 с испарителями 15 иаходится вне зоны расположения заготовок 11, 12 и отделена от них заградительными экранами 25, 26. При достижении давления 1 10 мм рт. ст. на электроды 9, 10 подается высокое напряжение. В поле тлеющего разряда происходит очистка рабочих плоскостей заго товок. При получении давления 1 10 мм рт. ст. на испаритель 15 подается понилсенное напряжение для расплавления и очистки испаряемого материала, после чего подается рабочее напряжение и включается электродвигатель 17 привода каретки 16. Испарение материала производится с двигающихся вдоль фронта заготовок 11, 12 испарителей 15 с реверсированием направления движения каретки 16 посредством путевых выключателей 27, установленных на редукторе 18.

После нанесения покрытий снимается напряжение с испарителей 15, закрывается электромагнитный форвакуумный кран 5 и высоковакуумный затвор 4 и открытием электромагнитного клапана в камеру / поступает атмосферный воздух.

Предмет изобретения

Вакуум-установка для металлизации изделий, состоящая из вакуумкамеры, диффузионного и форвакуумного насосов, электродов для очистки в поле тлеющего разряда поверхности заготовки, вакуум-краноз, трубопроводов и также испарителя, отличающаяся тем, что, с целью улучщения очистки поверхности заготовки и равномерного покрытия ее металлом, электроды для очистки поверхности заготовки выполнены сетчатыми, а испарители - подвижными, смонтированными на реверсивно подвижной каретке, двигающейся между заготовками вдоль всего их фронта.

/J // 3

W 12 /4

Похожие патенты SU134832A1

название год авторы номер документа
Многопозиционный карусельный полуавтомат для нанесения покрытий испарением в вакууме 1960
  • Богушевич В.Д.
  • Морозов Г.В.
  • Губанов В.П.
  • Ежов Б.К.
  • Поволоцкий Б.Д.
SU139176A1
Вакуумная установка для нанесения многослойных покрытий 1961
  • Гольнев В.Ф.
  • Дененберг М.Л.
  • Зуйков А.И.
  • Омеров У.И.
  • Поволоцкий Б.Д.
  • Фукс Е.Б.
SU148317A1
Устройство для нанесения покрытий в вакууме полимеризацией паров исходного химического соединения 1976
  • Димант Александр Борисович
  • Назарова Анна Филипповна
  • Тузов Лев Сергеевич
  • Шуров Анатолий Николаевич
  • Леснов Александр Николаевич
  • Мулюков Марат Шарирович
  • Шарапова Галина Николаевна
  • Глускин Феликс Абрамович
  • Мурзин Валерий Степанович
  • Федоренко Василий Павлович
  • Егоров Юрий Владимирович
SU889740A1
Аппарат для вакуумных покрытий 1958
  • Богушевич В.Д.
  • Ежов Б.К.
  • Поволоцкий Б.Д.
SU117269A1
ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВАЯ УСТАНОВКА 2000
  • Гринченко Л.Я.
  • Гусев Н.С.
  • Гусев С.И.
  • Еремин А.П.
  • Завьялов М.А.
  • Лисин В.Н.
  • Мартынов В.Ф.
  • Тюрюканов П.М.
  • Уваев А.Г.
  • Филачев А.М.
RU2192687C2
Газоразрядное распылительное устройство на основе планарного магнетрона с ионным источником 2020
  • Семенов Александр Петрович
  • Семенова Ирина Александровна
  • Цыренов Дмитрий Бадма-Доржиевич
  • Николаев Эрдэм Олегович
RU2752334C1
УСТРОЙСТВО ГЕНЕРИРОВАНИЯ ЭЛЕКТРОННОГО ЛУЧА 2011
  • Маттауш, Геста
  • Файнойгле, Петер
  • Кирххофф, Фолькер
  • Вайске, Дитер
  • Фласке, Хенрик
  • Цайбе, Райнер
RU2557078C2
Способ получения слитков ниобия высокой чистоты 2022
  • Абдюханов Ильдар Мансурович
  • Алексеев Максим Викторович
  • Цаплева Анастасия Сергеевна
  • Потапенко Михаил Михайлович
  • Кравцова Марина Владимировна
  • Крылова Мария Владимировна
  • Поликарпова Мария Викторовна
  • Лукьянов Павел Александрович
  • Новосилова Дарья Сергеевна
  • Зернов Сергей Михайлович
  • Шляхов Михаил Юрьевич
  • Дробышев Валерий Андреевич
  • Ряховская Екатерина Николаевна
RU2783993C1
СПОСОБ ОБРАБОТКИ ПОВЕРХНОСТИ МЕТАЛЛИЧЕСКОЙ ЗАГОТОВКИ ДУГОВЫМ РАЗРЯДОМ В ВАКУУМЕ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ 1993
  • Моисей Эстерлис[Il]
RU2104313C1
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ СЧЕТЧИКА ИОНИЗИРУЮЩЕГО ИЗЛУЧЕНИЯ 2020
  • Митрофанов Евгений Аркадьевич
  • Симакин Сергей Борисович
  • Шабалкин Алексей Вячеславович
RU2765146C1

Иллюстрации к изобретению SU 134 832 A1

Реферат патента 1961 года Вакуум-установка для металлизации изделий

Формула изобретения SU 134 832 A1

SU 134 832 A1

Авторы

Ахмедов Э.Г.

Зуйков А.И.

Эпельман С.И.

Сибирев Л.С.

Шокальский А.А.

Даты

1961-01-01Публикация

1960-05-13Подача