Известны вакуумные установки для металлизации испарением, состоящие из вакуум-колокола, форвакуумного насоса, вакуум-кранов, трубопроводов, неподвижных испарителей и пластинчатых или стержневых электродов для очистки заготовки.
Описываемая вакуум-установка улучшает очистку поверхности заготовки и обеспечивает равномерное покрытие ее металлом.
Это достигается тем, что электроды для очистки иоверхности заготовки выполнены сетчатыми, а испарители - подвижными, смонтированными на реверсивно подвижной каретке, двигающейся мелсду заготовками вдоль всего их фронта.
На фиг. изображена принципиальная схема вакуумной установки; на фиг. 2 - принципиальная схема расположения заготовок, высоковольтных электродов и испарителей.
На вакуумной камере 1 с крышками 2 и 5 монтируется высоковакуумный затвор 4, электромагнитные форвакуумные краны 5 и 6, форвакуумный насос 7, диффузионный насос 8 и система трубопроводов.
Арматура вакуумного аппарата состоит из высоковольтных сетчатых электродов 9, Ю, расположенных параллельно заготовкам //, 12, закрытым с нерабочей стороны экранами 13, 14, предохраняющими лицевую сторону заготовок от залета на них испаряемых материалов с расположенных горизонтально между заготовками испарителей 15, Движенле каретке 16 с испарителями 15 передается от электродвигателя П через червячный редуктор 18, звездочки 19, 20 и роликовую цепь 21Бесконтактный токосъемник представляет собой разделительный трансформатор, у которого вытянутая в длину камеры ) первичная обмотка 22 неподвижна, а вторичная обмотка с магнитопроводом 23 свя зана с движущейся кареткой 16.
К концам вторичной обмотки присоединены две штанги 24, которые подводят ток к испарителям 15, представляющим собой жгуты в виде лодочек из тугоплавкового материала, на которые навещивается фольга
№134832-2из испаряемого материала. В исходном положении каретка 16 с испарителями 15 иаходится вне зоны расположения заготовок 11, 12 и отделена от них заградительными экранами 25, 26. При достижении давления 1 10 мм рт. ст. на электроды 9, 10 подается высокое напряжение. В поле тлеющего разряда происходит очистка рабочих плоскостей заго товок. При получении давления 1 10 мм рт. ст. на испаритель 15 подается понилсенное напряжение для расплавления и очистки испаряемого материала, после чего подается рабочее напряжение и включается электродвигатель 17 привода каретки 16. Испарение материала производится с двигающихся вдоль фронта заготовок 11, 12 испарителей 15 с реверсированием направления движения каретки 16 посредством путевых выключателей 27, установленных на редукторе 18.
После нанесения покрытий снимается напряжение с испарителей 15, закрывается электромагнитный форвакуумный кран 5 и высоковакуумный затвор 4 и открытием электромагнитного клапана в камеру / поступает атмосферный воздух.
Предмет изобретения
Вакуум-установка для металлизации изделий, состоящая из вакуумкамеры, диффузионного и форвакуумного насосов, электродов для очистки в поле тлеющего разряда поверхности заготовки, вакуум-краноз, трубопроводов и также испарителя, отличающаяся тем, что, с целью улучщения очистки поверхности заготовки и равномерного покрытия ее металлом, электроды для очистки поверхности заготовки выполнены сетчатыми, а испарители - подвижными, смонтированными на реверсивно подвижной каретке, двигающейся между заготовками вдоль всего их фронта.
/J // 3
W 12 /4
название | год | авторы | номер документа |
---|---|---|---|
Многопозиционный карусельный полуавтомат для нанесения покрытий испарением в вакууме | 1960 |
|
SU139176A1 |
Вакуумная установка для нанесения многослойных покрытий | 1961 |
|
SU148317A1 |
Устройство для нанесения покрытий в вакууме полимеризацией паров исходного химического соединения | 1976 |
|
SU889740A1 |
Аппарат для вакуумных покрытий | 1958 |
|
SU117269A1 |
ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВАЯ УСТАНОВКА | 2000 |
|
RU2192687C2 |
Газоразрядное распылительное устройство на основе планарного магнетрона с ионным источником | 2020 |
|
RU2752334C1 |
УСТРОЙСТВО ГЕНЕРИРОВАНИЯ ЭЛЕКТРОННОГО ЛУЧА | 2011 |
|
RU2557078C2 |
Способ получения слитков ниобия высокой чистоты | 2022 |
|
RU2783993C1 |
СПОСОБ ОБРАБОТКИ ПОВЕРХНОСТИ МЕТАЛЛИЧЕСКОЙ ЗАГОТОВКИ ДУГОВЫМ РАЗРЯДОМ В ВАКУУМЕ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ | 1993 |
|
RU2104313C1 |
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ СЧЕТЧИКА ИОНИЗИРУЮЩЕГО ИЗЛУЧЕНИЯ | 2020 |
|
RU2765146C1 |
Авторы
Даты
1961-01-01—Публикация
1960-05-13—Подача