Многоточечный датчик давления Советский патент 1993 года по МПК G01L9/12 

Изобретение относится к измермтель- иой технике и может быть использовано для измерения давления при аэродинамических испытаниях.

Целью изобретения является повышение точности и чувствительности.

На фиг.1 изображен датчик, общий вид; на фиг.2 - разрез А-А на фиг.1; на фиг.З - разрез Б-Б на фиг.1.

Датчик содержит пленку 1, обкладки 2 и 3. выводы 4 и 5, перемычки 6, экраны 7 и 8, изрляционный перфорированный слой 9 из диэлектрической пленки, токосъемные выводы 10 и слой клея между пленками 11.

На первую пленку 1 методом термического-испарения через маски нанесены верхние обкладки 2, выводные проводники 4, перемычки 6 и вокруг них защитный экран 7. Нижние обкладки 3. вывод 5 и второй защитный экран 8 металлизированы на верхней поверхности второй пленки. Введенные экраны 7 и 8 позволяют снизить паразитные емкостные связи между обкладками соседних датчиков, а также между обкладчиками и землей. Экраны 7 и 8 также обеспечива1бт защиту от внешних электромагнитных помех и исключают накопление электрического заряда, обусловленного трибоэлектрическим эффектом при аэроди- .чамическом обтекании. Кроме того, такое расположение верхних и нижних обкладок одна относительно другой обеспечивает дополнительную экранировку обкладок от внешних помех и защиту металлизированных экранов 7 и 8 от истирания при воздейт ствии газового потока. При этом напряжение поляризации датчиков подаетФормула изобретения

МНОГОТОЧЕЧНЫЙ ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ, содержащий перфорированную диэлектрическую пленку, соединенную с расположенными с двух ее сторон сплош- ными диэлектрическими пленками с металлизированными обкладками и выводными проводниками, а также два металлизиро- Г аанных экрана, отличающийся тем, что, с целью повышения точности и чувствитель- ности. в нем металлизированные экраны

ся на вывод 5 через перемычки б. Смещение вывода 4 относительно вывода 5 позволяет ликвидировать их влияние на результаты измерения. Расстояние d между обкладками 2

и 3 и экранами 7 и 8, а также между выводами 4 и 5 и экранами 7 и 8 выбирается минимальным, исходя из технологических возможностей напыления.

Между первым и вторым слоями пленки

вставляется третья перфорированная пленка 9. Перфорированию подвергается часть пленки, находящаяся под обкладками датчика. Перфорируемый диэлектрик по своему содержанию отличается от пленки первого

слоя так как имеет более высокую диэлектрическую проницаемость и меньший модуль упругости. Толщина третьей пленки выбрана больше, чем толщина остальных пленок. Минимальная толщина перфорированной

пленки обеспечивает высокую чувствительность, а минимальная толщина первой пленки - более низкий предел измеряемого давления.

Датчик давления по принципу работы

представляет собой преобразователь емкостного типа. При изменении давления изменяется толщина чувствительного элемента под обкладками 2 и 3, что приводит к соот- ветству рщему изменению электрической

емкости.

(56) Приборы и техника эксперимента, № 4, 1983, с. 220-221.

M.PORTaT et M.CHATANiER L.E.S CAPTEUPS PELLICULAIRED DE PRESSION ET LEURS APPLICATIONS. Anne c. 1982, n.3, p. 177-186.

расположены со стороны внутренней поверхности каждой сплошной диэлектрической пленки и нанесены на поверхность пленок с зазором вокруг обкладок и выводных проводников, при этом перфорированная пленка выполнена из материала с модулем упругости меньшим и с коэффициентом диэлектрической проницаемости большим, чем у материала верхней и нижней пленок, а толщина нижней пленки больше толщины верхней пленки в 2 - 3 раза.

J

5

ooooo

/

11

SSSSSSSS 53S3S3

|Qggr

Изобретение относится к измерительной технике и позволяет повысить точность и чувствительность устройава. С двух сторон перфорированной диэлектрической пленки размещены сплошные диэлектрические пленкм. На внутренней поверх- ноаи каждой сплошной пленки нанесены металлизированные экраны 7 с зазором вокруг обкладок 2 и выводных проводников 4. Перфорированная пленка имеет более высокую диэлектричеа ую проницаемость и меньший модуль упругости, чем сплошные пленки. Нижняя сплошная пленка 82-3 раза толще верхней. Изменение давления приводит к колебанию толщины чувствительного элемента лод обкладками 7, вызывающему соответствующее изменение электрической емкости. Экраны 7 обеспечивают защиту чувствительного элемента от внешних электромагнитных помех и способствует снижению паразитных емкостных связей между обкладками 2 соседних датчиков. 3 иа фиг i Ы in s ON ОС О

QDi/г. J

Редактор Т. Лошкарева

Составитель В. Казаков Техред М.Моргентал

Заказ 3351

ТиражПодписное

НПО Поиск Роспатента 113035, Москса, Ж-35, Раушская наб., 4/5

Производственно-издательский Патент, г. Ужгород. ул.Гагарина, 101

Корректор М. Керецман