Способ ориентирования монокристаллов Советский патент 1988 года по МПК C30B33/00 

Описание патента на изобретение SU1411357A1

со

СП

Изобретение относится к области исследования монокристаллов и может быть ис- ;пальзовано для кристаллографического Ориентирования монокристаллов.

Цель изобретения - ориентирование мо- |нокристаллов фосфида цинка (ZnP) моноклинной сингонии.,

Монокристаллы фосфида цинка, полученные методом направленной кристаллиза ции из расплава, диаметром 1 см и длиной 2 см раскалывают на несколько частей по плоскостям спайности. Каждый из полученных образцов имеет от одной до трех непа- |аллельных плоскостей скола, на каждой из оторых имеются риски. На отколотых час- ях монокристаллов сошлифовывают и от- олировывают две площадки, перпендику- ярные рискам на сколе. Окончательную по- ировку шлифов осуществляют пастой AM ,5/0. Размеры щлифов 3x5 мм. Затем осу- цествляют травление щлифов травителем, одержащим 10 мл 69,8%-ной азотной кис- оты и 50 мл 45% Ной фтористоводородной ислоты (картина травления изображена на эиг. 1) и травителем, содержащим 40 мл 9,8°/о-ной азотной кислоты и 10 мл 45%-ной )тористоводородной кислоты (картина трав- ения изображена на фиг. 2). Травление г оверхностей щлифов осуществляют в течение 1 мин при комнатной температуре. Ориентацию монокристаллов определяют по рис- нам на сколе, задающим направление 001

и по линиям выхода плоскостей скольжения на поверхности шлифа или по большим осям эллипсоидальных ямок травления, задающим направление 010.

При осуществлении пре аемого способа достигается ускорени1 4j. .есса ориентации монокристалла (2. мьн), а также упрощение используемого оборудования (требуется в основном микроскоп и кислоты).

Формула изобретения

Способ ориентирования монокристаллов, включающий изготовление на них плоского шлифа, обработку шлифа селективным травителем и определение направления кристаллографических осей по фигурам на картине травления, отличающийся тем, что, с целью ориентирования монокристаллов фосфида цинка моноклинной сингонии, для изготовления щлифа монокристалл раскалывают по плоскости спайности, шлиф изготавливают в виде полированной площадки перпендикулярно направлению ступеней, образовавшихся на поверхности скола, и обработку щлифа ведут смесью 3-90%-ной азотной кислоты и 97-10%-ной фтористоводородной кислоты, причем ось 001 определяют по направлению ступеней на поверхности скола, а ось 010 - по большим осям ямок эллиптической формы и линиям выхода плоскостей скольжения на картине травления.

Похожие патенты SU1411357A1

название год авторы номер документа
Способ ориентирования кристаллов вольфрамата кадмия 2022
  • Редькин Борис Сергеевич
  • Борисенко Елена Борисовна
  • Колесников Николай Николаевич
RU2797674C1
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ОСТРИЯ ЛЕЗВИЯ ИЛИ ИГЛЫ 2009
  • Принц Александр Викторович
  • Принц Виктор Яковлевич
RU2423083C1
Способ резки монокристаллических слитков полупроводников на пластины 1988
  • Жуков Николай Александрович
  • Перевощиков Виктор Александрович
  • Скупов Владимир Дмитриевич
SU1622141A1
Селективный травитель для дийодида ртути 1980
  • Залетин В.М.
  • Ножкина И.Н.
  • Петрунина Т.Н.
  • Рагозина Н.В.
SU928946A1
Травитель для электролитическогоТРАВлЕНия МОНОКРиСТАллОВ РЕНия 1978
  • Карлина З.Г.
SU716287A1
Травитель для выявления дислокаций в кремнии на плоскости (100) 1980
  • Бароненкова Регина Павловна
  • Борисова Тамара Александровна
  • Кондрашина Антонина Ивановна
  • Фролова Лидия Васильевна
SU947233A1
СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ПЛОТНОСТИ ДИСЛОКАЦИЙ В МОНОКРИСТАЛЛАХ ГЕРМАНИЯ МЕТОДОМ ПРОФИЛОМЕТРИИ 2015
  • Третьяков Сергей Андреевич
  • Иванова Александра Ивановна
  • Каплунов Иван Александрович
RU2600511C1
Способ химического травления кристаллов титания - фосфата калия (КТ @ ОРО @ ) 1991
  • Коновалова Татьяна Ильинична
  • Цветков Евгений Геннадьевич
SU1801993A1
Состав для выявления дислокаций в монокристаллах тройных халькогенидных материалов 1980
  • Головей Михаил Иванович
  • Мудрый Владимир Васильевич
  • Некрасова Ирина Михайловна
  • Тешнеровский Иван Михайлович
SU941434A1
Способ выявления микродефектов в монокристалическом кремнии 1975
  • Данковский Юрий Вениаминович
  • Веселовская Нина Васильевна
  • Авраменко Лидия Ивановна
SU585564A1

Иллюстрации к изобретению SU 1 411 357 A1

Реферат патента 1988 года Способ ориентирования монокристаллов

Изобретение относится к исследованию монокристаллов и может быть использовано для кристаллографического ориентирования монокристаллов. Целью изобретения является ориентирование монокристаллов фосфида Мир,

Формула изобретения SU 1 411 357 A1

Документы, цитированные в отчете о поиске Патент 1988 года SU1411357A1

Травление полупроводников
Приводный механизм в судовой турбинной установке с зубчатой передачей 1925
  • Карнеджи А.К.
  • Кук С.С.
  • Ч.А. Парсонс
SU1965A1
Ручной прибор для загибания кромок листового металла 1921
  • Лапп-Старженецкий Г.И.
SU175A1
СПОСОБ ОРИЕНТИРОВАНИЯ МОНОКРИСТАЛЛОВ

SU 1 411 357 A1

Авторы

Битюцкая Лариса Александровна

Бормонтов Евгений Николаевич

Минасянц Валерий Аствацатурович

Сыноров Владимир Федорович

Даты

1988-07-23Публикация

1983-01-21Подача