Способ металлизации торцовых поверхностей малогабаритных диэлектрических деталей Советский патент 1989 года по МПК C04B41/88 

314563924

сти от толщины нанесенного слоя. Обра-частности, хрупкой керамики из масзовавшаяся пленка полистирола защища-сы Т-1000 и Т-10000, Кроме того,

ет цилиндрические поверхности втулокснижается трудоемкость металлизации, от подпьшения при металлизации. Далее

подложку с экранированными втулкамиФормула изобретения подвергают химической очистке в парах изопропилового спирта и помещают Способ металлизации торцовых по- в вакуумную установку. Методом магне-верхностей малогабаритных диэлектри- тронного распыления наносят слои Мо- ювеских деталей, включающий экраниро- Си (0,1+1) мкм или W-Cu (0,1+1) мкм,вание цилиндрических поверхностей или Ti-Cu (0,1+1) мкм. Затем осущест-пленкой полистирола, нанесение слоя вляют гальваническое наращивание за-металлизации методом вакуумного на- щитного слоя Sn-Bi или Аи на экраниро-пыления и гальваническое наращивание ванные пленкой полистирола детали. По 15защитного металлического слоя, о т- окончании металлизации подложки с де-личающийся тем, что, с талями помещают в ванну с бутилаце-целью повыщения процента выхода год- татом до полного растворения пленкиных. деталей из хрупких керамических полистирола. Для металлизации второйматериалов и упрощения процесса ме- торцовой стороны втулок указанные опе-2оталлизации, зкранирование осущест- рации повторяют.вляюt погружением деталей в раствор

Процент выхода годных металлизи-полистирола в бутиловом эфире уксусрованных изделий по предлагаемомуной кислоты при концентрации полистиспособу представлен в таблице.Рола 17-20% по массе на глубину 60Определение процента выхода годных 25 высоты металлизируемых детапей,

деталей при оптимальных режимах pea-сушат при нормальных условиях до поллизации способа производят путем из-«« о удаления растворителя.

мерения емкости металлизированных де-т-

талей.Концентрация Выход годных деталей.

Таким образом, по сравнению с из- зораствора поли-}изготовленных из керавестными предлагаемый способ металли-стирола,мае.% мической массы Т-1000, зации торцовых поверхностей диэле- %,при толщине слоя

ктрических деталей обладает значи-|раствора относительно

35

высоты детали, %

LlioIEzolL§2lII 122lII

тельными преимуществами. Полностью исключается возможность подпьшения при металлизации торцовых поверхностей диэлектрических деталей. Осуществление у 87 90 90 экранирования цилиндрических поверхностей деталей погружением в слой18,5 88 89 90 раствора полистирола позволяет повы- о

сить выход годных деталей до 90%, уп-20 89 90 90

ростить процесс металлизации деталей, так как не требует специальной ос- Известный

настки и оборудования, металлизиро- способ 30-40 вать детали из любых материалов и, в g

высоты детали, %

87 90 90 88 89 90

LlioIEzolL§2lII 122lIII

у 87 90 90 18,5 88 89 90

Изобретение относится к способам металлизации торцовых поверхностей малогабаритных диэлектрических деталей и может эффективно использоваться в технологии изготовления корпусов полупроводниковых приборов, керамических конденсаторов и на их основе миниатюрных и герметичных НЧ-вводов питания и управления. Изобретение позволяет повысить процент .выхода годных деталей из хрупких керамических материалов и упростить Изобретение относится к способам металлизации малогабаритных диэлектрических деталей и может быть использовано в электронной и электротехнической промышленности. Цель изобретения - повышение процента выхода годных малогабаритных деталей из хрупких керамических материалов и упрощение процесса металлизации. На шлифованную сторону подложки из поликора размером 48 х 60 мм с помощью кисточки или ракеля наносят слой процесс металлизации за счет предварительного экранирования боковых поверхностей деталей погружением в 17- 20 мас.%-ный раствор полистирола в бутиловом эфире уксусной кислоты на глубину 60-80% высоты обрабатываемых деталей и выдержки до полного смачивания раствором боковых поверхностей. После этого сушат детали при температуре 20-25°С в течение 1-3 ч. Затем диэлектрические детали подвергают химической очистке и металлизируют торцовые поверхности методом магне- тронного распыления металлами, например W-Cu, Mo-Cu, Ti-Cu. Далее наращивают защитный слой, например Аи или сплав Sn-Bi, в гальванической ванне. По окончании металлизации растворяют пленку полистирола. Полученные металлические покрытия полностью повторяют контур торцовых поверхностей обрабатываемых деталей. Выход годных изделий составляет 90%. 1 табл. раствора полистирола эмульсионного в бутиловом эфире, содержащего 17- 20 мае.Z:полистирола. Толщина слоя раствора, измеряемая с помощью швейной иглы и микроскопа МБС-9 с окулярной сеткой, равна 60-80% высоты обрабатьшаемых деталей. В слой раствора полистирола с помощью пинцета на расстоянии не менее 0,5 мм друг От друга помещают керамические втулки 03 х01,3 X 0,6 мм из массы Т-1000. Далее сушат при комнатной тет терату- ре 20-25 С в течение 1-3 ч в зависимо (Л N(ik ел 05 со со ГС