Способ измерения температуры расплавов Советский патент 1962 года по МПК G01K7/04 

Во многих областях современной техники требуется точное измерение темнературы расплава небольнюго объема, причем часто вблизи новерхности расплава. Типичным и;)нмер;)м такого рода является 1зм ренпе градиентов темнературы расплава полупроводников, например кремния, при вытягивании :монокрнсталлов. При o6bi4iioM 1 змеренни темнературы путем погружения термонары в раснла15 измеряемая температура получается значительно ниже нстшпюн. в частности, ниже температуры плавления материала. OcHoiriioii нрнчзпюГ такого отлнчия ггоказания термопары от liCTHHHoii температ -ры расплава является теплоотвод через термопару.

В соответствии с изобретеннем. для исключения влняння отвода тепла через термонару н повышения таким образом точности измерения в защитный колпачок термопары па пекотором расстоянш от нее (на мм ) по.мещается cnaii дополнительной термопары, подогреваемый незавиеимым пагревателем. При равенстве показанп обеих термопар теплоотвод через термопару, очевндно. равен нулю li термонара ноказывает истии}1у1о температуру. |Юказать, что между 1)азностыо показаний термонар и темнературой OCHOBHOII термонар1 1 существует линейная завнс11Л ость, что дает возможность, экстраполируя показания основной термонары к 1улевой разности ноказанш термонар, избежать необходимости- в мощно.м нагревателе, ограничнваяеь несколькими витками пагреваемой током проволок;, и устра;п-;ть тем самым влияние допол:1ительпого нагревателя на расплав.

Проверка предлагаемого способа па KpcMiinn при температуре к псталлизапии и вблизи поверхност (на глубшю 2 мм) расплава пока:;ала отличное совпадение измеренной температуры с Л1 тературными данными (1410) по температуре плавления кремния.

ЛУ 147006

Предмет изобретения

Способ измерения температуры расплавов небольших объемов, например, для получения полупроводников при номощн термопар ногр -жения с защитным колпачком, отличающийся тем, что, с целые новыщепия точности измерения нутем исключения влияиия отвода через термопару, в колначок на некотором расстоянии от спая основиоГ термопары-вводят спай дополиительной термопары, который подогровают независимым нагревателем, и определяют температуру расплава по одной из температур при одинаковых показаниях, а при несовпадении- по соотнощению показаний основной термопары и разиости no iзаний термопар до нагрева.