Устройство для получения пленок многокомпонентных сплавов Советский патент 1989 года по МПК C30B23/06 

1

Изобретение относится к полупроводниковой технике и может быть использовано для получения полупроводниковых пленок из многокомпонентных селективно испаряющихся материалов.

Цель изобретения - повышение качества пленок и соответствия их состава исходному материалу.

На чертеже представлено предлагаемое устройство, общий вид.

Устройство включает в себя вакуумную камеру 1, внутри которой расположен графитовый испаритель 2 в виде стакана с окном 3 на боковой его поверхности. Внутри испарителя 2 установлен графитовый тигель 4 на штоке 5, шарнирно связанном со средством перемещения тигля 4. Средство перемещения тигля 4 выполнено в виде рычага 6, закрепленного на оси 7, и электромагнита 8. Напротив окна 3 расположено средство 9 для периодической подачи исходного материала, которое синхронно связано со средством перемещения тигля 4. В верхней части испарителя 2 над тиглем 4 установлен сепаратор 10. Над испарителем 2 размещена подложка 11. Сепаратор

10исключает попадание на подложку

11недоиспарившихся частиц. Устройство работает следующим образом.

Порошок исходного материала заданного состава периодически (через 1-3 с) засыпают через окно 3 в горячий тигель 4 для периодической заJ J

Ј

00 СП

сыпки. При этом включают электромагнит 8, который притягивает одно из плеч рычага 6 и поворачивает его вокруг оси 7, а второе плечо рычага 6 опускает шток 5 с тиглем 4 и открывает окно 3. После засыпки электромагнит 8 отключают, и рычаг 6, возвращаясь в первоначальное положение возвратной пружиной, поднимает тигель 4 и перекрывает окно 3 на период полного испарения исходного материала. Затем весь цикл повторяется.

Получают пленки соединений Bi-Sb- Те со скоростью осаждения 0,5 мкм/ /мин и толщиной до 10 мкм, состав которых соответствует исходному материалу.

Концентрация компонентов и некоторые электрические параметры в пленках и исходном объемном образце состава 25% В17Теэ + 75% Sb1Te3 приведены в таблице.

ормула

изобретения

1. Устройство для получения пле- нок многокомпонентных сплавов, включающее вакуумную камеру, размещенный в ней испаритель с окном на его боковой поверхности, средство для периодической подачи исходного материала через это окно и подложку, закрепленную над испарителем, отличающееся тем, что, с целью повышения качества пленок и соответствия их состава исходному материаЛУ устройство снабжено тиглем, установленным внутри испарителя и имеющим средство его вертикального перемещения, и сепаратором, размещенным над тиглем.

2. Устройство поп.1, отличающееся тем, что средство для периодической подачи исходного материала синхронно связано со средством вертикального перемещения тигля.

/7

Изобретение относится к полупроводниковой технике и может быть использовано для получения полупроводниковых пленок из многокомпонентных селективно испаряющихся материалов. Цель изобретения - повышение качества пленок и соответствия их состава исходному материалу. В вакуумной камере размещен испаритель. На его боковой поверхности выполнено окно. В испарителе размещен тигель. Тигель соединен с механизмом его вертикального перемещения. Над испарителем расположена подложка, напротив окна средство периодической подачи исходного материала в тигель. Механизм перемещения тигля и средство периодической подачи исходного материала синхронно связаны. Над тиглем в испарителе установлен сепаратор. Получены пленки соединений BI-SB-TE толщиной до 10 мкм , состав которых соответствует исходному материалу. 1 з.п.ф-лы, 1 ил., 1 табл.

Редактор Н.Яцола

Составитель Н.Давыдова

Техред А.Кравчук Корректор А.Обручар

Заказ 1842/24

Тираж 355

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат Патент, г.Ужгород, ул. Гагарина,101

Подписное