Азотная кислота особой чистоты представляет значительный интерес для различных отраслей техники. Однако способы получения азотной кислоты, которая по качеству была бы чище химически чистого продукта, иеизвестны.
Предлагае.мый способ отличается телг, что очистку технической концентрированной азотной кислоты от инертных газов и окислов азота проводят вакуумной продувкой при температуре, близкой к температуре кипения, последующей непрерывной ректификацией при температуре не выще 122°С и давлении 760 мм рт. ст. и промывкой паров пепосредствепно в ректификационной колонне флегмой конденсируемой азотной кислоты. Это позволяет получать азотную кислоту для нужд полупроводниковой техники по квалификации выше «химически чистой (особой чистоты).
О ии1ают техническую азотную кислоту в аппаратуре из оплавленного кварцевого стекла (ВЫСОКОЕ чистоты кварц или горньп хрусталь) или из фторонласта-4.
Концеитрироваииую или разбавленную техническую азотную кислоту из нанорного бака подают па продувочную колонну, где путем подогрева пол вакуумом из пее удаляю раствореппые газы и окислы азота. Затем кислоту вводят в испаритель, откуда пары кислоты поступают в промывочпую колонну иасадочного или тарельчатого тнна, где кислота освобождается от аэрозолей и механически уносимых примесей из кубовой жидкосги испарителя. Промывку осуществляют флегмой кислоты, стекающей из конденсатора через регулятор флегмы.
В конденсаторе нолучают кислоту особой чистоты. Полученную кислоту направляют Е разбавитель, где оиа разбавляется бидистиллятиой водой до требуемой концентрации.
Хранят нолученную кислоту в кварцевой или другой таре.
Отработанную азотную кислоту из испарителя возвращают в цех производства технической азотной кислоты.
Предмет изобретения
Способ очистки технической азотной кислоты, отличающийся тем, что, с целью получения азотной кислоты для нужд полупроводниковой техники по квалификации выше «химически чистой (особой чистоты), очистку техиической концентрированной азотной кислоты от инертных газов и окислов азота нроводят вакуумной продувкой при температуре, близкой к температуре кипения, последующей ненрерывной ректификацией нри температуре не выще 122°С и давлении 760 мм рт. ст. и промывкой паров непосредственно в
| название | год | авторы | номер документа |
|---|---|---|---|
| СПОСОБ РАЗДЕЛЕНИЯ ВОЗДУХА | 1972 |
|
SU353115A1 |
| СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ 2,4,4-ТРИМЕТИЛПЕНТЕНА-1 | 1972 |
|
SU327230A1 |
| СПОСОБ РАЗДЕЛЕНИЯ ПРОДУКТОВ ГИДРИРОВАНИЯ АДИПОНИТРИЛА | 1971 |
|
SU316329A1 |
| СПОСОБ ОЧИСТКИ СЫРОГО АДИПОНИТРИЛАво.^союзндяп.'.т'ГМ'.'Г..ч''! '^ |-•^гг•:•vгr•-(f i^i-. !f-isi hU"ii,i=Uii :=;, EliБИБЛИОТЕКА | 1971 |
|
SU322323A1 |
| СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ АЗОТНОКИСЛОЙ МЕДИ | 1966 |
|
SU189403A1 |
| СПОСОБ СОВМЕСТНОГО ПОЛУЧЕНИЯ МУРАВЬИНОЙ,УКСУСНОЙ и пропионовой кислот | 1967 |
|
SU195444A1 |
| СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ АЗЕЛАИНОВОЙ И ПЕЛАРГОНОВОЙ КИСЛОТ | 1972 |
|
SU330154A1 |
| СПОСОБ ВЫДЕЛЕНИЯ 3-МЕГИЛПИРИДИНА | 1967 |
|
SU196844A1 |
| СПОСОБ ВЫДЕЛЕНИЯ КАРБОНОВЫХ КИСЛОТ ИЗ ОТХОДОВ ПРОИЗВОДСТВА КАПРОЛАКТАМА | 1972 |
|
SU355153A1 |
| СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ АКРИЛОВЫХ ИЛИ МЕТАКРИЛОВЫХ ЭФИРОВ ОДНО- И МНОГОАТОМНЫХ СПИРТОВ | 1971 |
|
SU289083A1 |
