Стекло для композиционного материала Советский патент 1989 года по МПК C03C3/74 C03C8/24 

Изобретение относится к технологии сиЛикатов, к производству легкоплавкого свинцового алюмобороснли- катного стекла для композиционного материала, предназначенного для использования в микроэлектронике в качестве низкотемпературных покрытий и стеклоприпоев, в том числе для материалов с относительно невысокими коэффициентами теплового расширения.

Цель изобретения - снижение температуры растекания и улучшение технологических СВОЙСТЗч

Конкретные составы стекал призеде- ны в taбл. 1 .

Свойства стекол даны в табл. 2.

Синтез стекол осуществляется в газовой и электрической печах в кварцевых и корундовых тиглях при 1050f j

. При указанном режиме стекла хорошо варятся и осветляются .и при, годны для получения различных изделий методами отливки, прэссавания и изготовления гранулята.

Предлагаемое стекло может использоваться для создания низкотемпературного композиционного материала, используемого в микроэлектронике в - качестве легкоплавких стеклоприпоев и защитных покрытий, в том числе для материалов подложек микросхемы с низкими коэффициентами теплового расширения.

Композиционный материал имеет следующий состав, мас,%: стекло 92,0 - 95,0; кварцевое стекло 5,0 - 8,0.

Конкретные составы композиционных материалов и характеристики покрытий

при температуре обжига 475±25°С на подложка} ; из кремния, ситалла, керамики и высокоглиноземистого материа. ла люкалокс приведены в табл. 3.

Как показывают данные, приведенные в табл.3, разработанные низкотемпературные композиционные материалы обеспечивают получение при пониженных температурах монолитных без трещин с хорошей адгезией Ьтекловидных покрытий к подложкам из материалов с широким диапазоном коэффициента теп- лового расширения, что свидетельствует о хорошей совместимости этих материалов и обеспечивает им положи- тельный эффект.

Формула изобретения

Стекло для композиционного материала, включающее SiOj, BjO,, ,

PbO, MgO, CaO, ., ,, отличающееся тем, что, с целью снижения температуры растекания и улучшения технологических свойств, зно дополнительно содержит ZnO, CdO при следующем соотношении компонентов, мае. /Е:

2-3

21-25

1,5-2,5

62-68

0,3-0,5

0,3-0,5

2-4

1-2

1-2 0,3-0,5

1-2

Изобретение относится к технологии силикатов , в частности, к производству легкоплавкого свинцового алюмоборосиликатного стекла для композиционного материала, предназначенного для использования в микроэлектронике в качестве низкотемпературных покрытий и стеклоприпоев, в том числе для материалов с относительно невысокими коэффициентами теплового расширения. С целью снижения температуры растекания и улучшения технологических свойств стекло для композиционного материала содержит /мас.%/ : SIO₂ 2,0-3,0, B₂O₃ 21,0-25,0, AL₂O₃ 1,5-2,5, PBO 62,0-68,0, MGO 0,3-0,5, CAO 0,3-0,5, SB₂O₅ 2,0-4,0, JN₂O₃ 1,0-3,0, ZNO 1,0-2,0, CU₂O 0,3-0,5, CDO 1,0-2,0. Температура растекания 450±10°С, коэффициент теплового расширения α 770±1,0.10^-7 град^-1, водоустойчивость 0,68-1,51%.

Прозрачные стекла с хорошими варочновыработочными свойствами

а

Стеклообразные с хорошей растекаемостью и

адгезией в кремниевой подложке покрытия

450t10 450J-10 450110 450110 77,Of 1,0

Таблица 1

Таблица 2

77,011,0 77,011,0 77,0t1,0 77,011,0 77,0±1,0

1,510,681,000,890,81

Продолжение табл.2

Таблица 3