Стекло Советский патент 1976 года по МПК C03C3/12 

Изобретение относится к легкоплавким химически устойчивым (с высокими диэлектрическими показателями) стеклам, используемым для зашиты поверхности интегральных микросхем оjt Известно стеклО; вкпючаюшее F fe О, В„О , ZftO, SiO и А1„О . Недостатком О вестного состава являетса относительно высокая температура оплавшения и повышенная склонность к кристгшлиаации, Целью изобретения является снижение температуры оплавления и склонности к кри сталлизации при сохранении высоких диэлектрических показателей и химической устой- . чивости, Достягаетсн этс те; znGn нительно содерйшт СУ МоО„,NbpO при следушшеьд со( - ( KOVI- . gQ понэнтов (в вес. %}-. Jо 0,1-2 CcIO 0,1-10 MoO Шихта для варки стекла содержит химисеские реактивы марок J и Чда (ввес,ч) РЬО 66,3-85,7; 14,2-35,6; ZflO 0,,1; С«гО 0,1-10,2; SiO;, 0,,-1 0,1-2,1; и О 0,5-3; vVO 0,5-5,1; МоС„ 0,5ООНЬ,.,0 ОД-ЗД, Варкб стекпа проиЗЕОднтся по общеприятому/ способу при 9ОО-10ОО С без выержки, Стекло Kfv5-Sc-T следующие характеристики. клонность к крйсталлк -ацни ( выдержка

порошка стекла с размером зерен менее

6О мк в интервале температур ЗОО-бОО-С

в течение 4 час) не кристаллизуется

280-320

Температура размягчения, С Температура оплавления

порошка стекла с размером

зерен порядка 0,1 мк в

4ОО-45О

пленку,

Коэффициент линейного термического рйсрирения (КТР) в

-1 {70-85 ) интервале температур ЗОО-6ОО°С

интервале 2О-ЗОО С, град Диэлектрическая проницаемость при 2О С и частоте 2О Тангенс угла диэлектрических потерь при 20°С и частоте 1 кГц0,01 Химическая устойчивость (потеря веса в % при кипячении зерен стекла с размером частив О,3-О,5 мм в дистиллированной воде в течение 1 ,О5 Пример. Стекло состава (в РЬО 68,0

QСтекло имеет следующие характеристики:

Склонность к кристаллизации,не .Кристал Температура размягчения, °С - 295 Температура оплавления порошка стекла с размером зерен порядке О,1 °-430 В пленку, С КТРИград - 76 1О Диэлектрическая проницаемость при 20 С и частоте 1 кГц 25 Тадгенс угла диэлектрических потерь при 20 С и частоте 1 кГц О,1 Формула изобретений Стекло, включающее Рь О, В О , ZfiO, SiO, А1„О„, отличающееся «i.2 о гем. что, с целью снижения склонности к кристе-ллиэации и температуры оплавления, оно дополншгельно содержит Cct О, С и О,