Способ получения полупроводниковых материалов Советский патент 1962 года по МПК C30B11/02 

Известен способ получения полупроводниковых материалов путем ввода шихты элементов в кварцевую ампулу, вакуумнрования н нагрева ампулы до температуры синтеза. Однако при этом происходит взаимодействие элементов с материалом ампулы, что снижает чистоту конечного продукта.

Предлагаемый способ отличается тем, что шихту помещают в несколько тиглей, например, из Корунда, графита, циркония, расположе.гных таким образом, чтобы дно одного тигля служило крышкой другого. Это позволяет получать более чистый продукт и проводить синтез нескольких полупроводниковых материалов в одной ампуле.

При осуществлении способа готовят шихту, содержащую взаимодействующие с 1$варцем элементы. Шихту размещают в цилиндрические тигли. Нижняя часть каждого тигля имеет внешний шлиф, а верхняя часть - внутренний шлиф. ТиглИ устанавливают таким образом, что дно верхнего тигля служит крышкой нижнего. Батарею, СОСТОЯЩУЮ Hi трех-четырех тиглей с шихтоГ, помещают в кварцевую ампулу, после чего ампулу вакуумируют до разрежения, равного мм Р|. ст. Ампулу запаивают и нагревают до температуры синтеза. Шлиф тиглей пропускает газ при откачке ампулы, но практическ он непроницаем для конденсирующихся паров и жидкости, так как капилляры шлифа быстро забиваются конденсатом.

При синтезировании из чистых компонентов сплавов системы Mg-Si-Sb и Mg-Sn-Sb с длительной выдержкой при высоких температурах с применением виброперемешивания, на внутренней поверхности ампулы заметного взаимодействия кварца с парами магния НС обнаруживается.

Способ может быть применен для синтеза таких соединений, как фосфид индия и арсенид галлия.

№ 150495- 2 Способ получения полупроводниковых материалов путем ввода шихты элементов в кварцевую ампулу, вакуумирования и нагрева ампулы до температуры синтеза, отличающийся тем, что, с целью получения более чистого продукта « получения нескольких полупроводниковых материалов в одной ампуле, шихту помещают в несколько тиглей, например, из коруида, графита, циркония, расположенных таким образом, чтобы дно одного тигля служило крышкой другого.

Предмет и, о б р е т € н и я