Устройство для присоединения штенгеля колбы электровакуумного прибора к вакуумной системе Советский патент 1989 года по МПК H01J9/20 

СП

оо

Изобретение относится к электронной промышленности и может быть использовано при присоединении откачиваемых объемов электровакуумных приборов. Цель - повышение производительности работы достигается тем, что в корпус 1 устройства введен холодильник, который в процессе работы соединяют или разъединяют с источником криоагента. Корпус 1 заполнен рабочим телом 4 в виде газа, например, криптоном, ксеноном или углекислым газом при давлении 8-15 атм. 1 ил.

К Soкуу иной системе

Изобретение относится к электрон-i ной промышленности, а именно к устройствам для присоединения откачиваемые объемов электровакуумных приборов

О

Ш) к вакуумной системе.

Цель изобретения - повышение про- из одительности - Достигается допол- нейием устройства холодильником и использованием в качестве рабочего тела криптона, ксенона или углекислого газа при давлении 8-15 атм.

На чертеже показано устройство для одновременной обработки нескольких , разрез.

Устройство состоит из корпуса с герметично закрепленными соосными штуцерами 1 и 2, соосной со штуцерами I и 2 муфты 3 из эластичного материала, например резины. Корпус запол- нен рабочим телом 4 в виде газа. В качестве рабочего тела использован криптон, ксенон или углекислый газ лги давлении 8-15 атм. Корпус снабжен хрлодильником (не показан), выполнен- ним с возможностью соединения с ис-. тдчником криоагента (не показан).

Перед установкой штенгеля ЭВП в nifyuep 1 холодильник соединяют с ис- т чником криоагента. За счет вымораживания давление в корпусе падает до атмосферного. В этот момент про- ийводят установку штенгеля ЭВП. разъединения холодильника с источником криоагента и восстановления

5

0 5

давления в корпусе производят вакуумную обработку, выполняют холодную отпайку ЭВП, по окончании которой вновь соединяют холодильник с источником криоагента.

Пример. Корпус заполняли криптоном при 15 атм. Вымораживание производили в жидком азоте в течение 10- 25 с. Размораживание производили в течение 1-2 с. газовой горелкой.

Использование изобретения позволит повысить производительность труда, снизить трудоемкость.

Формула изобретения

Устройство для присоединения штенгеля колбы электровакуумного прибора к вакуумной системе, содержащее металлический корпус с герметично закрепленными соосными первым штуцером для размещения штенгеля колбы и вторым штуцером для соединения с вакуумной системой, размещенную внутри корпуса соосно на штуцерах эластичную муфту, образующую с корпусом полость, заполненную рабочим телом в виде газа, отличающееся тем, Q что, с целью повышения производительности, корпус снабжен холодильником, выполненным с возможностью соединения с источником криоагента, а в качестве рабочего тела использован криптон или ксенон, или углекислый газ при давле- нии 8-15 атм.