Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к технологии изго- товления рабочих элементов вакуумных криосорбционных насосов.
Целью изобретения является повышение механических характеристик соединения адсорбента с подложкой и улучшение откачных характеристик элемента.
Способ изготовления сорбционного элемента вакуумного криосорбционного насоса заключается в закреплении углеродного адсорбента на металлической подложке, причем предварительно .напыляют на одну из поверхностей адсорбента слой высокотеплопроводного металла толщиной 15-30 мкм, затем слой припоя толщиной 5-20 мкм, наносят припой на поверхность подложки,
размещают на ней адсорбент и создают механическую нагрузку, а закрепление адсорбента на подложке осущест- ,вляют путем их нагрева до температуры плавления припоя в атмосфере инертного газа или в вакууме с последующим охлаждением и снятием механической нагрузки.
В качестве высокотеплопроводного металла используют, например, медь
d
4ь СЛ
315 50074
или иной металл, который обеспечиваеттиками и теплопроводностью. Последх,орошее сцепление с припоем. Предва-нее свойство обеспечивает эффективный
рительное напыление на поверхностьтеплоотвод от адсорбента и способстадсорбента слоя металла позволяетвует достижению минимально возможной
получить хорошее соединение между его температуры, что обусловливает
подложкой и адсорбентом, отличающее-высокие адсорбционные характеристики
ся высокими прочностными характерис-|адсорбента.
| название | год | авторы | номер документа |
|---|---|---|---|
| СПОСОБ СОЕДИНЕНИЯ ДВУХ ТВЕРДОТЕЛЬНЫХ ОБРАЗЦОВ | 2006 |
|
RU2342231C2 |
| СПОСОБ ПАЙКИ АЛЮМИНИЯ С ЖАРОПРОЧНЫМИ СТАЛЯМИ И СПЛАВАМИ | 1996 |
|
RU2101146C1 |
| АДСОРБЦИОННЫЙ ЭЛЕМЕНТ ВАКУУМНОГО НАСОСА И СПОСОБ ЕГО ИЗГОТОВЛЕНИЯ | 1992 |
|
RU2049266C1 |
| Способ изготовления криосорбционного элемента | 1986 |
|
SU1320505A1 |
| АМОРФНЫЙ ЛЕНТОЧНЫЙ ПРИПОЙ НА ОСНОВЕ МЕДИ | 2011 |
|
RU2464143C1 |
| АДСОРБЦИОННЫЙ ЭЛЕМЕНТ ВАКУУМНОГО НАСОСА И СПОСОБ ЕГО ИЗГОТОВЛЕНИЯ | 1991 |
|
RU2016232C1 |
| МЕТОД ВАКУУМНОЙ КАПСУЛЯЦИИ ЧАШ В ЯЧЕЙКАХ ВЫСОКОГО ДАВЛЕНИЯ ДЛЯ СИНТЕЗА АЛМАЗНЫХ ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКИХ ПЛАСТИН (ВАРИАНТЫ) | 2023 |
|
RU2817022C1 |
| Криосорбционный насос | 1986 |
|
SU1451340A1 |
| Способ пайки деталей из керамики со сталью | 2022 |
|
RU2812167C1 |
| СПОСОБ ПАЙКИ ИЗДЕЛИЙ | 1995 |
|
RU2104840C1 |
Цпособ изготовления сорбционного элемента вакуумного криосорбционного насоса путем закрепления углеродного адсорбента на металлической подложке, отличающийся тем, что с целью повышения механических характеристик соединения адсорбента с подложкой и улучшения откачных характеристик, предварительно напыляют на одну из поверхностей адсорбента слой высокотеплопроводного металла толщиной 15-30 мкм, затем слой припоя толщиной 5-20 мкм, наносят припой на поверхность подложки, размещают на ней адсорбент и создают механическую нагрузку, а закрепление адсорбента на подложке осуществляют путем их нагрева до температуры плавления припоя в атмосфере инертного газа или в вакууме с последующим охлаждением и снятием механической нагрузки.
| Способ разделения хлоридов стронция и бария | 1985 |
|
SU1278299A1 |
| F I N, опублик | |||
| Контрольный висячий замок в разъемном футляре | 1922 |
|
SU1972A1 |
| Куприянов В.И | |||
| и др | |||
| Кипятильник для воды | 1921 |
|
SU5A1 |
| - В сб.: Вопросы атомной науки и техники | |||
| Сер.: Общая и ядерна я физика | |||
| - М., ЦНИИатоминформ, 198, вып | |||
| Печь для непрерывного получения сернистого натрия | 1921 |
|
SU1A1 |
| Печь для сжигания твердых и жидких нечистот | 1920 |
|
SU17A1 |
| Способ получения на волокне оливково-зеленой окраски путем образования никелевого лака азокрасителя | 1920 |
|
SU57A1 |
| леродного адсорбента на металлической подложке, отличающийся тем, что, с целью повышения механических характеристик соединения адсорбента с подложкой и улучшения откачных характеристик, предварительно напыляют на одну из поверхностей адсорбента слой высокотеплопроводного металла толщиной 15- 30 мкм, затем слой припоя толщиной 5 20 мкм, наносят припой на поверхность подложки, размещают на ней адсорбент и создают механическую нагрузку, а закрепление адсорбента на подложке осуществляют путем их нагрева до температуры плавления припоя в атмосфере инертного газа или в вакууме с последующим охлаждением и снятием механической нагрузки. | |||
