Состав для травления Советский патент 1990 года по МПК C30B33/00 C30B29/30 

Изобретение относится к неорганической химии, в частности к составам растворов для травления, и может быть использовано для химической обработки монокристаллических подложек из ниобата и танталата лития.

Целью изобретения является повьпне- ние скорости травления.

Пример. Берут 47 г фторида калия, помещают в никелевый сосуд, после чего в сосуд конденсируют 30 г фтористого водорода при . Вместо перечисленных компонентов можно взять навески 79,4 г KHjF и 3,8 г KF, поместить в никелевый сосуд и перемешать. Далее сосуд с твердой смесью реагентом нагревают до 133°С, помещают в образовавшийся расплав подложки ниобата и танталата лития и травят при этой температуре. Количество ис- ходных компонентов для приготовления травителя и температуру травления определяют из фазовой диаграммы системы KF-HF при концентрациях KF 61 мас,% и HF 39 мас.%.

Травление можно проводить при температуре выше температуры плавления твердой смеси, т.е. при любой температуре, когда используеъялй состав будет представлять собой жидкость. Скорость травления составляет 1,94 и 0,96 мкм/мин для ниобата и танталата лития соответственно.

Скорости травления в растворах с другим содержанием MF приведены в . таблице.

Как видно из таблицы, значения скорости травления с использованием предлагаемого раствора превышают скорости травления известному составу в несколько раз, что позволяет поднять производительность процесса травления.

Формула изобретения

Состав для травления в жидкой фазе монокристаллических подложек LiNbO, и LiTaOj, содержащий HF и второй компонент, отличающийся тем, что, с целью повьппения скорости травсл

У1

:о 4: 5

N

S

ления, в качестве второго компонента состав содержит по крайней мере один фторид или гидрофтори,ц щелочного металла н/1ши аммония в количестве,, соответствующем на фазовой диаграмме соотношению, мас.%: MF 48-89 и HF 11- 52, где М - щелочной металл или аммоний.

Изобретение относится к неорганической химии и может быть использовано для химической обработки подложек ниобата и танталата лития. Цель изобретения - повышение скорости травления. Состав для травления монокристаллических подложек ниобата и танталата лития представляет собой расплав компонентов, взятых в количестве, соответствующем на фазовой диаграмме HF-KF, соотношению, мас.% : MF 48-89, KF 11-52, где M - щелочной металл и/или аммоний. Скорость травления повышается в несколько раз по сравнению с прототипом. 1 табл.