Сорбционный элемент вакуумного насоса Советский патент 1991 года по МПК F04B37/04 

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к элементам конструкции адсорбционных вакуумных насосов.

Цель изобретения - улучшение откач- ных характеристик сорбционно о элемента.

На чертеже представлена схема сорб- ционного элемента.

Сорбционный элемент вакуумного насоса содержит подложку 1 и закрепленный на ней при помощи слоя связующего материала адсорбент 2.

Связующий материал выполнен в виде смеси термопластичного клея 3 и мелкодисперсного металлического порошка 4, причем коэффициент термического расширения металлического порошка 4 превышает {оэффициент термического расширения материала подложки 1, но меньше коэффициента термического расширения клея 3. Элемент работает следующим образом. При охлаждении подложки 1, например, жидким криоагентом п роисходит охлаждение клея 3 с металлическим порошком 4 и адсорбента 2. Понижение температуры ад- сообента 2 ведет к поглощению им молекул

газа из окружающего элемент объема. Соотношение, коэффициентов термического расширения подложки 1, клея 3 и металлического порошка 4 приводит к тому, что слой связующего материала при охлаждении сжимается достятл-жо .вномерно без возникновения больших термических напряжений, которые могли бы привести к возникновению в его объеме трещин, сжимающих эффективнун) теплопроводность сло.ч. В то же время на границе клея с гранулами адсорбента 2 возникают наибольшие напряжения, которые привадят к частичному отслаиванию клея 3 и образованию микротрещин, через которые откачиваемый газ может поступать кранее блокированным порам. В результате наиболее полно используются поглотительные способности aAcop6eHta.

Использование термопластичного клея обеспечивает хорошую восстанавливаемость связующего материала и ликвидацию микротрещин при отогреве элемента. Формула изобретения Сорбционный элемент вакуумного насоса, содержащий подложку и закрепленный на ней при помоЩи слоя саязующего

материала адсорбент, отличающийся тем, что, с целью улучшения откачных характеристик , связующий материал выполнен в виде смеси термопластичного клея и мелкодисперсного металлического Порошка, причем коэффициент термического расширения последнего превышает коэффициент термического расширения материала подложки, но меньше коэффициента термического расширения клея.

Изобретение относится к вакуумной технике и позволяет улучшить откачные характеристики сорбциониого элемента. На подложке (П) при помощи связующего материала, включающего термопластичный клей (К) и металлический порошок (МП), за- крепл9ется адсорбент (А), При этом коэффициент термического расширения (КТР) МП превышает КТР П. но меньше КТР К. Это обеспечивает равномерность усадки слоя К и МП в процессе охлаждения, а также возникновение транспортных микротрещин между гранулами А и К, рблегчающих доступ молекул газа к блокированным К порам А. 1 ил,