СПОСОБ ОСАЖДЕНИЯ ПЛЕНОК ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ Советский патент 2012 года по МПК H01L21/205

Похожие патенты SU1597019A1

название	год	авторы	номер документа
СПОСОБ ОСАЖДЕНИЯ ПЛЕНОК ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ	1988	Турцевич А.С. Красницкий В.Я. Лесникова В.П. Кабаков М.М. Гранько В.И.	SU1584641A1
Способ осаждения пленок поликристаллического кремния	1988	Турцевич А.С. Красницкий В.Я. Лесникова В.П.	SU1568798A1
СПОСОБ ОСАЖДЕНИЯ ПЛЕНОК ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ НА ПОЛУПРОВОДНИКОВУЮ ПОДЛОЖКУ	1987	Турцевич А.С. Красницкий В.Я. Шкут А.М. Крищенко А.П. Лесникова В.П.	SU1484193A1
Способ осаждения легированных пленок поликристаллического кремния	1991	Турцевич А.С. Красницкий В.Я. Козлов А.Л. Лесникова В.П. Наливайко О.Ю. Кастрицкий Л.В.	SU1780461A1
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ СОСТАВНОЙ МИШЕНИ ДЛЯ РАСПЫЛЕНИЯ ИЗ СПЛАВА ВОЛЬФРАМ-ТИТАН-КРЕМНИЙ	2010	Глебовский Вадим Георгиевич	RU2454481C2
СПОСОБ ФОРМИРОВАНИЯ СЛОЕВ ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ	2000	Манжа Н.М.	RU2191847C2
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ИЗОЛЯЦИИ ЭЛЕМЕНТОВ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ	1982	Манжа Н.М. Ячменев В.В. Кокин В.Н. Сулимин А.Д. Шурчков И.О.	SU1111634A1
Способ получения сегнетоэлектрических пленок ΒаSrTiO	2019	Тумаркин Андрей Вилевич Одинец Андрей Анатольевич Сапего Евгений Николаевич	RU2700901C1
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ЭМИТИРУЮЩЕГО ЭЛЕКТРОНЫ ПРИБОРА И СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ УСТРОЙСТВА ОТОБРАЖЕНИЯ ИЗОБРАЖЕНИЯ	2009	Аоки Наофуми Нисида Содзи	RU2430446C2
СПОСОБ НАНЕСЕНИЯ УГЛЕРОДНОГО ЗАЩИТНОГО ПОКРЫТИЯ	1990	Воронов Сергей Алексеевич	RU2065508C1

Реферат патента 2012 года СПОСОБ ОСАЖДЕНИЯ ПЛЕНОК ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ

Способ осаждения пленок поликристаллического кремния, включающий осаждение на кремниевую подложку подслоя кремния толщиной 30-50 нм пиролитическим разложением моносилана при температуре 550-600°С, последующее доращивание подслоя до получения пленки поликристаллического кремния при температуре 600-650°С до заданной толщины, отличающийся тем, что, с целью улучшения качества пленок путем снижения в них уровня механических напряжений при одновременном снижении трудоемкости, подслой осаждают при давлении 2,66-13,3 Па.

SU 1 597 019 A1

Авторы

Турцевич А.С.

Лесникова В.П.

Гранько В.И.

Семенов Л.Г.

Даты

2012-03-20—Публикация

1989-02-27—Подача