название | год | авторы | номер документа |
---|---|---|---|
Устройство для контроля полупроводниковых узлов | 1981 |
|
SU960744A1 |
Устройство для контроля электрических параметров полупроводниковых и магнитных структур на пластине | 1982 |
|
SU1064497A1 |
Устройство для контроля полупроводниковых структур | 1981 |
|
SU1001238A1 |
Устройство для исследования полупроводниковых пластин в электронном микроскопе | 1988 |
|
SU1619356A1 |
Способ сборки многозондовой головки | 1985 |
|
SU1272378A1 |
ИЗМЕРИТЕЛЬНОЕ ЗОНДОВОЕ УСТРОЙСТВО И СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН | 2015 |
|
RU2618598C1 |
Способ разбраковки по электрическим параметрам структур стабилитронов на пластине | 1991 |
|
SU1820425A1 |
СПОСОБ ПОДГОТОВКИ КРИСТАЛЛОВ к СБОРКЕ | 1973 |
|
SU364047A1 |
УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ СТРУКТУР | 1990 |
|
RU2023327C1 |
Открытая зондовая установка тестирования матричных фотоприёмников и способ ускоренного тестирования матричных фотоприемников | 2016 |
|
RU2624623C1 |
Изобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано в устройствах и автоматах зондово- го контроля полупроводниковых структур на пластине. Цель изобретения - повышение надежности контроля при переменной температуре. Перед уставовкой на зондовом кольце на специальном приспособлении корректируют начальную точку отсчета рабочего усилия контактирования на каждом контактирующем узле. Далее контактирующие узлы устанавливают на зондовом коль це и поочередно с помощью манипулятора 14 выставляют по координатам X, Y и по координате 7. с помощью винта 6 . каждого контактирующего узла 2. Зон- довое кольцо 1 с выставленными контактирующими узлалл 2 устанавливают на устройстве или автомате зондового контроля полупроводниковых структур на пластине, при этом осуществляют электрическую связь каждого контактирующего узла 2 через коммутирующее кольцо с измерителем. 1 ил. а & (Л
Патент США Р 4001685, кл | |||
Телефонный аппарат, отзывающийся только на входящие токи | 1921 |
|
SU324A1 |
Контактирующее устройство | 1977 |
|
SU699684A1 |
Печь для непрерывного получения сернистого натрия | 1921 |
|
SU1A1 |
Авторы
Даты
1991-02-28—Публикация
1988-03-24—Подача