Способ сборки многозондовой головки Советский патент 1986 года по МПК H01L21/68 

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано при изготовлении устройств для контроля полупроводниковых структур на пластине при их производстве.

Цель изобретения - упрош,ение технологии сборки многозондовой головки и повышение ее точности.

На фиг.1 представлена сборка многозондовой головки (фрагмент) концами зондов, общий вид; на фиг.2 - конструкция зонда (а) и схемы установки зондов в сборочное приспособление (б, в); на фиг.З а-к - варианты исполнения зондов.

При сборке многозондовой головки концами зондов 1 (фиг.1) последние размещены в отверстиях имитатора 2 топологии проверяемой структуры. Тела зондов лежат на опорном элементе кольцевой формы.

На фиг.2а представлена конструкция зонда, выполненного в форме стержня 3 с отогнутым контактирующим концом 4 и дополнительным изгибом 5, лежащим в плоскости, образованной стержнем 3 и отогнутым концом 4.

На фиг.26 и 2е представлены схемы установки зондов в сборочное приспособление. А - точки соприкосновения тела зонда с опорным элементом, В - точки соприкосновения контактного конца с имитатором топологии, С - центр тяжести зонда, G - вектор силы веса зонда. Центр тяжести зонда С расположен между точками А и В и ниже линии, их соединяющей.

На фиг.За-и представлены конструктивные варианты исполнения зондов с изгибом; на фиг.Зк - вариант исполнения зонда с дополнительным грузом 6.

Сборка многозондовой головки осуществляется следующим образом.

Зонды укладывают в сборочное приспособление так, как показано на фиг.1. При этом они под действием силы тяжести устойчиво самоустанавливаются в пространстве так, что их контактирующие концы лежат в вертикальных плоскостях.

После этого стержни зондов и опорный элемент скрепляют в единое целое заливкой диэлектрическим закрепляющим составом. Эффект упрощения технологии сборки и повышения ее точности достигается за счет самоустановки контактирующих концов зондов в вертикальных плоскостях.

Формула изобретения

1. Способ сборки многозондовой головки из зондов, выполненных в форме стержневого тела с отогнутым контактирующим концом, включающий установку контактирующих концов зондов до упора в дно глу, хих отверстий, выполненных в шаблоне в соответствии с контактными площадками, проверяемой структуры, и установку стержней зондов на опорном элементе кольцевой формы с последующей заливкой стержней зондов и опорного элемента диэлектри0 ческим закрепляющим составом, отличающийся тем, что, с целью упрощения технологии сборки и повышения ее точности, перед установкой зондов на опорном элементе осуществлено не менее одного изгиба стержня каждого зонда в плоскости, образованной стержнем и отогнутым контактным концом в сторону прямой, проведенной между точкой соприкосно:5ения стержня с опорным элементом и точкой соприкосновения контактного конца с 1паблоном, до размещения центра тяжести зонда между указанными точками и ниже указанной прямой.

2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что на стержне зонда устанавливают дополнительный груз, центр тяжести которого расC положен в плоскости, образованной стержнем и отогнутым контактным концом, гюичем массу груза подбирают такой, чтобы приведенпый центр тяжести систе 11 1 зопя-груз был расположен между точкой соприкосновения стержня с опорным элементом и

точкой соприкосновения контактного конца с шаблоном и ниже прямой, проведенной между этими точками.

Изобретение относится к области контрольно-измерительной техники. Цель изобретения - упрощение технологии сборки и повышение ее точности. Она достигается тем, что при сборке многозондовой головки зондов каждый из зондов укладывают в сборочное приспособление, размещая отогнутый контактирующий конец 4 в отверстие имитатора топологии проверяемой структуры, а тело зонда - на опорном элементе кольцевой формы. Под действием силы тяжести зонд устойчиво самоустанавливается в пространстве так, что его контактирующие концы лежат в вертикальной плоскости. После этого стержни 3 и опорный элемент скрепляют в единое целое заливкой диэлектрическим закрепляющим составом. Способ может быть использован при изготовлении устройств для контроля полупроводниковых структур на пластине при их производстве. 1 з.п. ф-лы, 3 ил. Ю N3 00 00

Фиг. 2

Ч

е ж

} 1Г

г