Способ изготовления чувствительного элемента датчика для определения газов-восстановителей Советский патент 1991 года по МПК G01N27/04 

остаточной влаги, после чего прокаливают на воздухе при 800°С до достижения постоянного веса {10 мин). После этого образец помещают в камеру напылительного устройства, нагревают с помощью специаль- ного нагревателя до температуры, при которой может происходить интенсивное разложение пентакарбонила железа (200°С), продувают камеру газом (инертный газ, водород), не содержащим приме- сей-окислителей, и после полного удаления воздуха из камеры продолжают продувку тем же газом, но предварительно прошедшим через устройство, где он насыщается парами карбонила железа, нагретого до 100°С. При этом пентакарбонил железа разлагается на поверхности подложки, образуя прочную пленку металлического железа, без существенного разложения в газовой фазе, Затем образец прокаливают на воздухе при 600°С до установления постоянного омического сопротивления, которое составило 50 кОм. Форму л а изо б ре тени я Способ изготовления чувствительного элемента датчика для определения газов-

восстановителей, включающий формирование поверхностного слоя гамма-окиси железа на керамической подложке-изоляторе, термообработку поверхностного слоя в окислительной атмосфере, отличающийся тем, что, с целью расширения температурного диапазона работы элемента датчика в сторону более высоких температур при сохранении стабильности свойств в много- . кратных циклах восстановление-окисление, поверхность керамической подложки-изолятора предварительно обрабатывают насыщенным водным раствором соли железа, сушат, прокаливают при 600-800°С, а формирование поверхностного слоя гамма-окиси железа осуществляют обработкой керамической подложки изолятора смесью насыщенных паров пентакарбонила железа с инертным газом или водородом при температуре газовой смеси 30-100°С и температуре подложки 200-400°С с последующей термообработкой полученного слоя на воздухе при 600-800°С до достижения постоянного значения омического сопротивления поверхностного слоя гамма-окиси железа.

Изобретение относится к технологии изготовления чувствительных элементов датчиков на газы-восстановители и может быть использовано при изготовлении датчиков, способных регистрировать газы-восстановители в условиях высоких температур (до 750°С), в частности, для сигнализации и предупреждения аварийных ситуаций при разгерметизации конструкций, заполненИзобретение относится к технологии изготовления чувствительных элементов датчиков на газы-восстановители и может быть использовано при изготовлении датчиков для контроля герметичности изделий, содержащих эти газы при высокой температуре, а также определения их химической активности. Целью изобретения является расширение температурного диапазона работы элемента датчика в сторону более высоких рабочих температур и сохранение стабильных газами-восстановителями и эксплуатируемых при высоких температурных условиях. Цель изобретения - расширение температурного диапазона работы элемента датчика в сторону более высоких температур (до 750°С) и повышение стабильности работы. Цель достигается тем, что поверхность подложки-изолятора предварительно обрабатывают насыщенным раствором соли железа, сушат, прокаливают до разложения соли железа, а формирование поверхности чувствительною слоя осуществляют обработкой подложки-изолятора смесью насыщенных паров пзнтакар- бонила железа с инертным газом или водородом до образования на поверхности подложки-изолятора, нагретой до температуры разложения пентакаобонила. сплошного слоя металлического железа с последующей термообработкой его в окислительной атмосфере до достижения постоянного омического сопротивления чувствительного поверхностного слоя датчика. Чувствительный элемент датчика сохраняет свои параметры при многократных циклах восстановления-окисления ности свойств в многократных циклах восстановление-окисление. Пример Подложку в виде цилиндрической (ппоской, кольцевой) керамической заготовки, на концевых участках которой закреплены контактные проводники, промывают спиртом, сушат при комнатной температуре до удаления растворителя, обрабатывают насыщенным водным раствором азотнокислого железа, затем сушат на воздухе до образования на поверхности подложки . видимого глазом сухого слоя соли железа, затем при 100°С для удаления О -N Ю СлЭ 1СЛ