СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ДАТЧИКОВ Советский патент 1964 года по МПК G01B7/16 

Известен способ изготовления тензодатчиков сонротнвления путем испарения и конденсации металла или полупроводника в вакууме. Исходный материал помещают на испарителе, над которым устанавливают трафарет с подложкой, предназначенной для конденсации на ней испаряемого исходного материала.

Предлагаемый способ отличается от известных тем, что исхолньп материал берут в количестве, рассчитанном из , условия получения заданных датчиков, а трафарет устанавливают соосно испарителю и вращают его до ПОЛНОГО испарения исходиой навески материала.

Полученные по предлагаемому способу тензодатчики имеют однородные характеристики.

Способ изготовления датчиков, иапример тензодатчиков сопротивления, с напыленными тензочувствительными элемеитами предусматривает создание серии тензодатчиков в процессе ПОЛНОГО испарения определенного количества металла или полупроводиика. Для образоваиия тензочувствительиых элементов применяют трафареты круглой формы. Отверстия на трафарете для конденсирования испареииого материала раснолагаются по радиусам. При использовании таких трафаретов примеияются круговые испарители.

Павеска испаряемого материала распределяется равномерно по всей площади испарителя. Трафарет и испаритель располагают соосно, чтобы все отверстия трафарета были в одинаковом положении по отиощению к испарителю.

Материал конденсируется на помещенной за трафаретом подложке. Для достаточно -о осреднения толщииы слоя получаемого конденсата тра|фарет вращается с помощью механизма вращения, рассчнтаиного таким образом, чтобы скорость вращеиия трафарета составляла иримерио 100 об/мин.

Предмет и з о б р е т е и и я

Способ изготовления датчиков, иапример теизодатчиков сопротивления, путем испарения металла или полупроводника в вакууме, заключающийся в том, что исходный материал помещают на испарителе, над которы.м устанавливают трафарет с подложкой, предназначенной для конденсации на ией испаряемого ИСХОДНОГО материала, о т л и ч а ю щ и йся тем, что, с целью получения тензодатчиков с однородными характеристиками, берут исходный матернал в колнчестве, рассчитанном из условня получения заданных датчиков, трафарет устанавлнвают соосно испарителю и вращают его до полного иснарения исходной навески матернала.