СПОСОБ ГЕРМЕТИЗАЦИИ КАПИЛЛЯРНЫХ МИКРОДЕФЕКТОВ ОБОЛОЧКИ ЭЛЕКТРОВАКУУМНОГО ПРИБОРА Советский патент 2005 года по МПК H01J9/26 

Способ герметизации капиллярных микродефектов оболочки электровакуумного прибора, включающий размещение оболочки электровакуумного прибора в герметичной камере, наполнение камеры парами герметизирующего вещества, конденсацию паров герметизирующего вещества на оболочке электровакуумного прибора до образования сплошного слоя, нагревание до температуры полимеризации герметизирующего вещества, выдержку и охлаждение, отличающийся тем, что, с целью повышения герметичности, наполнение камеры осуществляют пересыщенным паром герметизирующего вещества, а толщину слоя герметизирующего вещества h (м) выбирают из выражения 5·10^-5 ≤ h ≤ 1·10^-4, после конденсации камеру наполняют нейтральным газом, осуществляют предварительную выдержку в течение времени t (c), которое выбирают из соотношения

где d - эффективный диаметр сечения микрокапилляра, м;

l - длина микрокапилляра, м;

η - коэффициент динамической вязкости конденсата, Па·с;

σ - коэффициент поверхностного натяжения конденсата, Н/м;

Р_г - давление нейтрального газа, Па;

μ - коэффициент неоднородности микрокапилляра по сечению (μ=5-20);

θ - угол смачивания по границе с мениском;

- среднее значение диаметра микрокапилляра, м,

а перед нагреванием наполняют оболочку электровакуумного прибора нейтральным газом и устанавливают давление нейтрального газа в камере равным давлению нейтрального газа в оболочке электровакуумного прибора, величину которого (мПа) определяют из выражения

где t_п - время полимеризации, с;

Т - температура полимеризации, К;

Р_н - давление насыщенного пара герметизирующего вещества при температуре Т, Па;

D_о - коэффициент диффузии паров герметизирующего вещества в нейтральном газе при атмосферном давлении и температуре Т, м²/с;

m - масса молекулы герметизирующего вещества, кг;

ρ - плотность герметизирующего вещества, кг/м³;

K - постоянная Больцмана, Дж/К;

l_х - длина участка испарившейся "пробки", м;

μ₁= 2-4 - коэффициент неоднородности сечения микроканала;

Р_а - атмосферное давление, Па.