w
Ј
| название | год | авторы | номер документа |
|---|---|---|---|
| СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МАГНИТНОЙ ГОЛОВКИ | 1991 |
|
RU2010355C1 |
| Способ изготовления блока тонкопленочных магнитных головок | 1987 |
|
SU1531138A1 |
| Способ изготовления многовитковых интегральных магнитных головок | 1983 |
|
SU1103284A1 |
| СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МАГНИТНОГО НОСИТЕЛЯ | 2000 |
|
RU2169399C1 |
| СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МАГНИТНОГО НОСИТЕЛЯ | 2000 |
|
RU2169398C1 |
| Устройство для формирования конфигурации пленок, напыляемых в вакууме | 2022 |
|
RU2787908C1 |
| Способ изготовления записывающей головки струйного типа | 1989 |
|
SU1688113A1 |
| Способ изготовления тонкопленочных платиновых терморезисторов на диэлектрической подложке и устройство терморезистора (варианты) | 2022 |
|
RU2791082C1 |
| Способ изготовления магнитных головок | 1984 |
|
SU1254544A1 |
| Способ изготовления магниторезистивного элемента магнитной головки | 1980 |
|
SU959150A1 |
Изобретение относится к приборостроению. Цель изобретения - повышение качества магнитопроводов. На поверхности немагнитной токонепроводящей подложки формируют углубления по профилю магнитопроводов, напыляют слой магнитомягкого материала толщиной не менее глубины углублений, наносят защитную маску на зону профиля магнитопровода с увеличением ее на размер допуска формирования защитной маски для совмещения с профилем магнитопровода, удаляют магнитомягкий слой с не- защищенных участков, после чего механически удаляют оставшийся магнитомягкий слой с поверхности подложки. 6 ил.
Изобретение относится к области приборостроения, а именно к технологии производства тонкопленочных магнитных головок.
Целью изобретения является повышение качества магнитопроводов тонкопленочных магнитных головок.
На фиг. 1-5 представлена последовательность операций по предлагаемому способу; на фиг. 6 - поверхность подложки многодорожечного блока тонкопленочных магнитных головок, вид сверху.
Способ осуществляют следующим образом.
На поверхности подложки 1 формируют углубления 2, количество которых равно количеству магнитных головок в многодоро- жечном . Размеры углублений соответствуют размерам магнитопроводов. На поверхность подложки 1 с углублениями 2 напыляют слой 3 магнитомягкого материала, формируют маску 4 из фоторезиста, закрывая магнитомягкий слой 3 в углублениях 2 с некоторым припуском 5, определяемым допуском на совмещение маски с профилем углубления 2 под магнитопро- вод, удаляют магнитомягкий слой 3 с неза- щищенных участков поверхности подложки 1 с последующим снятием защитной маски 4. После этого производят механическое удаление магнитомягкого слоя 3, выступающего над поверхностью подложки 1, получая полностью сформированный в углублении подложки 1 магнито- провод 6. Операция удаления магнитомягкого слоя 3 с поверхности подложки 1 может быть осуществлена с помощью связанного мелкодисперсного алмазного абразива, в частности лентами типа АПЛК-9-3. На фиг. 6 приведен вид на подложку 1 со стороны сформированных магнитопроводов 6, по линии 7 может быть
о
00
W
о о о
произведена порезка для последующей сборки блока тонкопленочных магнитных головок.
Формула изобретения Способ изготовления магнитопроводов тонкопленочных магнитных головок, при котором на поверхности токонепроводящей немагнитной подложки формируют углубления с профилем магнитопроводов, напыляют магнитомягкий слой толщиной не менее
f /
фиг.1
Фиг.З
Г IL
У(////л
у // ,/, // / А
Фив. 5
/SjJJ/f:
0
глубины упомянутых углублений и шлифовкой удаляют магнитомягкий слой с поверхности подложки, отличающийся тем, что, с целью повышения качества магнитопроводов, после напыления магнитомягкого слоя часть его удаляют фотолитографией при сохранении слоя в зоне профилей магнитопроводов, причем зона профиля увеличена на размер допуска формирования защитного слоя для проведения фотолитографии.
////// - /г vZZZZt
L
Y / / / # / Фиг. Z
/////
,/IffffSf
0 # 0 // 0 #
Фиг.Ь
,
&7Z22
/ X
//f/4
6
| Патент США № 3549825, кл.360/123,1970. |
