Способ изготовления многовитковых интегральных магнитных головок Советский патент 1984 года по МПК G11B5/42 

/ / / - / J S 7 13 J4 15 16 11 1В /// Изобретение относится к технике магнитной записи, а именно к способам изготовления головок. Известен способ изготовления многовитковых интегральных магнитных головок, включающий последовательное нанесение на изолированную магнитную пластину проводящих и изолирующих слоев и формирование головки методом фототравления 1. Однако данным способом невозможно из готовить геликоидальные интегральные магнитные головки с достаточно больщим количеством витков обмотки. Наиболее близким по технической сущ.ности и достигаемому эффекту к предлагаемому является способ изготовления многовитковых интегральных магнитных головок, включающий масочное напыление на подложку первого магнитопровода, витков обмотки с изолирующими слоями, второго магнитопровода и. контрольных меток, а также установку напыленной структуры в корпус и вскрытие рабочего зазора с контролем его глубины 2. Недостатком известного способа является низкая экономичность процесса изготовления и невысокий процент выхода годных интегральных головок, вызванных отсутствием возможности объективного контроля толщины и электромагнитных параметров напыленных слоев до операции вскрытия рабочего зазора головок, в результате чего операции вскрытия подвергались как годные, так и бракованные магнитные головки. Кроме того, по известному способу сложно осуществить контроль меток обработки рабочей поверхности головок при операциях щлифования и вскрытия рабочего зазора. Цель изобретения - повыщение экономичности процесса изготовления и процента выхода годных интегральных головок. Поставленная цель достигается тем, что согласно способу изготовления многовитковых интегральных магнитных головок, в ключающему масочное напыление на подложку первого магнитопровода, витков обмотки с изолирующими слоями, второго магнитопровода и контрольных меток, а также установку напыленной структурь в корпус и вскрытие рабочего зазора с контролем его глубины, контрольные метки напыляют посредством дополнительных окон в масках в виде меток совмещения и меток для контроля обработки рабочей поверхности головок, причем метки совмещения одновременно с напылением соответствующего упомянутого функицонального слоя и по толщине, и электромагнитным параметрам равными параметрам соответствующих функциональных слоев, а метки для контроля обработки рабочей поверхности головок напыляют одновременно с напылением витков обмотки и изоляционных слоев, при этом контроль толщины и электромагнитнйх параметров напыленной структуры головки и выполнение пазов для визуального контроля высоты меток обработки рабочей поверхности головки в одном из полублоков корпуса осуществляют перед установкой блока в корпус. На фиг. 1 изображена многовитковая интегральная магнитная головка, поперечное сечение; на фиг. 2 - часть полублока корпуса с выполненными в нем пазами. Способ осуществляется следующим образом. На подложку 1 через маску напыляют первый магнитопровод 2 и одновременно с ним на подложку через отверстиев маске напыляют контрольный элемент 3, затем через маску напыляют изолирующий слой 4, который образует рабочий зазор, и одновременно с ним контрольный элемент 5. После этого через маску напыляют первый виток обмотки 6 и одновременно с ним контрольный элемент 7. Затем поочередно напыляют изолирующие и проводящие слои 8 - 12 с одновременным поочередным напылением соответствующих им контрольных элементов 13-17. После этого напыляют второй магнитопровод 18 и одновременно с ним контрольный элемент 19. В результате получают многослойную тонкопленочную структуру интегральной магнитной головки и разнесенные в плоскости подложки контрольные элементы, толщина и электромагнитные параметры которых соответствуют параметрам соответствующих им слоев интегральной головки. Сформированные на подложке контрольные элементы служат как для определения и отбраковки некондиционных напыленных структур, так и для контроля взаимного смещения слоев. После этого измеряют параметры каждого из напыленных контрольных элементов и тем самым определяют параметры каждого из слоев напыленной многослойной структуры головки: толщийу, коэрцитивную силу, поле анизотропии, магнитную проницаемость, перекос осей анизотропии относительно заданного направления и другие параметры. Одновременно с напылением одного из проводящих слоев обмотки напыляют метки для контроля обработки рабочей поверхности головки в процессе вскрытия рабочего зазора. Подложку со сформированной структурой интегральных магнитных головок устанавливают в корпус и вскрывают рабочий зазор, причем визуальный контроль MetoK обработки рабочей поверхности головки - осуществляют через выполненные в одном из полублоков корпуса nasfci 20. ширина которых соответствует размеру меток обработки рабочей поверхности головки. Изобретение позволяет снизить трудоемкость изготовления интегральных головок за счет своевременного выявления бракованных головок с тем, чтобы не подвергать их трудоемким операциям щлифования и вскрытия рабочего зазора, а также за счет упрощения процесса вскрытия рабочего зазора и облегчения,процесса обработки рабочей поверхности головки при контролировании

последних с помощью упомянутых меток через соответствующие пазы в одном из полублоков.

СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МНОГОВИТКОВЫХ ИНТЕГРАЛЬНЫХ МАГНИТНЫХ ГОЛОВОК, включающий масочное напыление на подложку первого магнитопровода, витков обмотки с изолирующими слоями, второго магнитопровода и контрольных меток, а также установку напыленной структуры в корпус и вскрытие рабочего зазора с контролем его глубины, отличающийся тем, что, с целью повышения экономичности процесса изготовления и процента .выхода годных интегральных головок, контрольные метки напыляют посредством дополнительных окон в масках в виде меток совмещения и меток для контроля обработки рабочей поверхности головок, причем метки совмещения напыляют одновременно с напылением соответствующего упомянутого функционального слоя и по толщине, и электромагнит ным параметрам равными параметрам соответствующих функциональных слоев, а метки для контроля обработки рабочей поверхности головок напыляют одновременно с напылением витков обмотки и изоляционных слоев, при этом контроль толщины и электромагнитных параметров напыленной структуры головки и выполнение пазов для визуального контроля высоты меток обработки рабочей поверхности головки в од(Л ном из полублоков корпуса осуществляют перед установкой блока в корпус.

2/ Фиг.1