Способ получения вакуума Советский патент 1991 года по МПК F04C18/00 F04B23/00 

Изобретение относится к вакуумной технике и может быть использовано для откачки неконденсируемых газов из объектов с низким газовыделением.

Целью изобретения является снижение предельного давления в откачиваемом объеме и уменьшение времени получения предельного вакуума.

На чертеже изображена схема вакуумной установки для реализации предлагаемого способа получения вакуума.

Вакуумная установка содержит откачиваемый замкнутый объем 1, сообщенный вакуумным трубопроводом 2 с ротационным механическим вакуумным насосом 3, баллон 4 с водородом, сообщенный трубопроводом 5 напуска водорода с замкнутым объемом 1, палладиевый фильтр 6, установленный в трубопроводе 5. Замкнутый объем

1 снабжен датчиками 7 и 8 низкого и высокого вакуума. В трубопроводах 2 и 5 установлены соответственно вакумные вентили 9 и 10. Палладиевый фильтр 6 снабжен нагревателем 11 и съемной крышкой 12.

Способ получения вакуума на описанной установке заключается в том, что из замкнутого объема 1 по трубопроводу 2 периодически осуществляют откачку газа посредством ротационного механического вакуумного насоса 3 и заполнение замкнутого объема 1 через палладиевый фильтр 6 водородом. При этом в каждом из циклов. кроме последнего, после откачки рабочей среды замкнутый объем 1 заполняют водородом до давления, равного 0,3-1,0 атмосферного, в первом цикле откачку производят до давления 10-20 Па, в последующих - до наименьшего давления, при котором в

трубопроводе 2 откачки сохраняется режим вязкого трения, а в последнем цикле после откачки замкнутого объема 1 последний сообщают с атмосферой через нагретый пал- ладиевый фильтр 6. Нагрев палладиевого фильтра б осуществляют нагревателем 11. Величину вакуума в замкнутом объеме контролируют датчиками 7 и 8.

Формула изобретения Способ получения вакуума посредством ротационного механического вакуумного насоса, включающий откачку газа из замкнутого объема по вакуумному трубопроводу, отличающийся тем, что, с целью снижения предельного давления в замкну0

5

том объеме и уменьшения времени получения предельного вакуума, откачку осуществляют циклами, периодически заполняя замкнутый объем водородом через паллади- евый фильтр, при этом в каждом из циклов, кроме последнего, после откачки рабочей среды замкнутый объем заполняют водородом до давления, равного 0,3-1,0 атмосферного, в первом цикле откачку производят до давления 10-20 Па, в последующих - до наименьшего давления, при котором в трубопроводе откачки сохраняется режим вязкого трения, а в последнем цикле после откачки замкнутого объема последний сообщают с атмосферой через нагретый палла- диевый фильтр.

Изобретение может быть использовано для откачки неконденсируемых газов из объектов с низким газовыделением. Цель изобретения - снижение предельного давления в замкнутом обьеме и уменьшение времени получения предельного вакуума посредством ротационного механического вакуумного насоса. Газ откачивают из ва- кумного объема по вакуумному трубопроводу. Откачку осуществляют циклами, периодически заполняя замкнутый объем водородом через палладиевый фильтр. В каждом из циклов, кроме последнего, после откачки рабочей среды замкнутый объем заполняют водородом до давления, равного 0,3-1,0 атмосферного. В первом цикле откачку производят до давления 10-20 Па, в последующих - до наименьшего давления, при котором в трубопроводе откачки сохраняется режим вязкого трения. 8 последнем цикле откачки замкнутый объем сообщают с атмосферой через нагретый фильтр 1 ил ё

10

/ / П

11 11 6

/о

4Г