УСТАНОВКА ДЛЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ИЗДЕЛИЙ-—• ИЗ СИНТЕТИЧЕСКОЙ ДВУОКИСИ КРЕМНИЯ Советский патент 1965 года по МПК C03B20/00 

Известные установки для изготовления изделий из синтетической двуокиси кремния содержат вращающиеся щпиндели с оправками и стационарно установленными горелками.

Цель изобретения - повысить производительность установки и механизировать изготовление изделий. Достигается это выполнением установки со станиной, на которой смонтирован подвижный стол, несущий шпиндели с олравками, вблизи от стола расположены горелки.

На чертеже показана принципиальная схема установки.

На станине 1 установлен подвижный стол 2, который с помощью направляющих 3 к 4 может перемещаться соответственно в продольном и поперечном горизонтальном направлениях приводами 5 и 6. Оправки 7, смонтированные на шпинделях 8, приводятся во вращение электродвигателем 9 посредством привода, состоящего из ременной передачи 10, системы щкивов 11, шестерен 12 и 13.

Возвратно-поступательное в вертикальном направлении движение оправок осуществляется приводом 14 и устройством 15. Оправки вращаются в подщипниках 16.

В горелки 17, стационарно смонтированные на стенде (на чертеже не показан), по коммуникациям 18 и 19 подают соответственно кислород и водород. Четыреххлористый кремиий из трубопровода поступает в испарители 20, оттуда в виде пара через соединительную трубку 21 - в горелки 17. Установка работает следующим образом.

Приводом 5 продольного перемещения, который может быть механическим или ручным, и приводом 6 поперечного перемещения стол устанавливают так, чтобы ось вращения onpaiBки пересекалась с осью горелки. В горелку подают водород и кислород и смесь поджигают у сопла горелки. После этого включают электродвигатель, который через приводы 10-14 и устройство 15 сообщает оправкам одновременно вращение и возвратно-поступательное перемещение в вертикальном направлении. Пламя горелок должно равномерно обрабатывать поверхность оправок. После прогревания оправок (2-3 мин), включают нагреватели испарителей, в которые подают че-тыреххлористый кремний. Образующиеся пары поступают в горелку, и в пламени горелки синтезируется тонкодисперсная двуокись кремния, которая равномерным слоем осаждается на оправках 7.

В процессе напыления механизм устройства, смонтированный на подвижном столе 2, можно по необходимости отодвигать от горелок 17 приводом 6 так, чтобы расстояние между горелкой и поверхностью осаждения оставалось постоянным. Расстояние контролируют по нониусу. За время напыления очередного комплекта оправок, напыленные изделия охлаждают, отделяют от оправок, оправки очищают. В дальнейшем механизм устройства спова переводят в исходное положение, и цикл повторяется. Напыление можно производить на части оправок и на всех оправках одновременно. Можно также использовать два блока горелок, располол енных с противоположных сторон устройства. В этом случае расстояние между горелками и оправками регулируют не ириводом поперечного перемещения, а изменением длины пламени горелки в процессе работы. Устройство оснащено ограждением, предотвращающим загрязнение движущихся деталей и нагревание их прямым излучением пламени. При помощи эффективной вытяжной вентиляции отсасываются агрессивные газы И обеспечивается разбавление взрывоопасных газов. Приводы механизмов и горелки могут быть различных конструкций. Число оправок и расположение их может быть также различным, в зависимости от требуемой производительности, условий работы, рациональности и удобства обслуживания. Предмет изобретения Установка для изготовления изделий из синтетической двуокиси кремния, включающая вращающиеся шпиндели с оправками и стационарно установленные горелки-распылители, отличающаяся тем, что, с целью повышения производительности и механизации изготовления изделий, она выполнена со станиной с иродольными и поперечными направляющими, с перемещающимся по ним столом, несущим шпиндели с оправками, и с горелками, расположенными близ стола.

3 JL

тгг/

(I „ .