ПЛЕНОЧНЫЙ ДАТЧИК ИЗМЕРИТЕЛЯ МОЩНОСТИ СВЧ Советский патент 1965 года по МПК G01R21/12 

Известна конструкция пленочного датчика измерителя мощности СВЧ, в которой пленочная термопара измеряет температуру металлического поглотителя через изоляционную .прокладку. Чувствительность такого датчика недостаточна, высокое сопротивление пленочной полупроводниковой термопары не позволяет применять в качестве измерительной мощности стрелочные приборы постоянного тока.

Предложенный пленочный датчик в отличие от известных выполнен следующим образом. На тонкую изоляционную подлол-ску нанесен слой металла, покрытый изоляционной пленкой, на которую, в свою очередь, нанесен слой полупроводника, контактирующий с металлическим слоем в его средней части. В месте контакта слоев образуется спай термостолбика, состоящего из двух термопар.

На чертеже в двух проекциях изображен предложенный датчик, состоящий из изоляционной подложки J, металлического слоя 2, изоляционной пленки 5, полупроводникового слоя 4 и электродов: металлических ветвей 5

и полупроводниковых 6. Высокоомный полупроводниковый слой выполняет роль положительных ветвей термопар, а низкоомный слой металла служит отрицательной ветвью и одновременно является основным поглотителем высокочастотной энергии.

Чувствительность пленочного датчика новой конструкции повыщена в 40-80 раз по сравлению с известными, внутренее сопротивление его понижено, что дает возможность применить в качестве измерителя мощности стрелочные приборы постоянного тока.

Предмет изобретения

Пленочный датчик измерителя мощности СВЧ, содержащий термопары, отличающийся тем, что, с целью увеличения чувствительности, на тонкую изоляционную подложку нанесен слой металла, покрытый изоляционной

пленкой, на которую, в свою очередь, нанесен слой полупроводника, контактирующий с металлическим слоем в его средней части, в месте контакта образуется спай термостолбика, состоящего из двух термопар.

........