Стекло Советский патент 1992 года по МПК C03C3/87 

Изобретение относится к химически устойчивым стеклам, предназначенным для производства фотошаблонных пласТИН.

Известно стекло К-8, применяемое в производстве фотошаблонных пластин, следующего состава, мас.%: SiOc. 68,9; ВфО 11,5;ВаО 2,8; . 10,4; 6,3; А1еОз 0,3.

Однако указа1нное стекло по своим физико-химическим свойствам непригодно для производства больших и сверх больших интегральных схем.

Наиболее близким к изобретению по технической сущности и достигаемому результату является стекло состава, мас.%: SiOa 54,595-68,998; 6,50-16,50; MgO 5,00-12,00; CaO 1,00-11,30; ZnO 5,00-15,:)0; 0,10-3,00; MoO, .0,0005-0,005.;

Недостатком прототипа является высокая дилатометрическая температура начала деформации, которая осложняет И удсрояает производство стжига стеклоиластин, т.е. требует сооружения нестандартной высокотемпературной ртжиговой печи непрерывного действия.

Целью изобретения является сниже-, ние дилатометрической температуры начала деформации стекла.

Поставленная цель достигается тем, что стекло, включающее SiO, AlgO, MgO, CaO, ZnO, NagO, MoO, дополнительно содержит ZrO. при следующих соотношениях компонентов, мас.%: SiOg 52,99-60,00; СаО 8,40-15,90; ZrO 0,10-0,50; ZnO 2,00-8,80; Alop 1Ь,60,-18,00; NaeO 0,09-2,10; MgO 4,oO 12,10; МоОз 0,01-0,02.

В таблице приведены конкретные составы стекол, сваренных в шахтной пёчи (в кварцевых тиглях) и выдержанных в ней до полного осветления. Температура варки гфедлагаемых стекол. не превышает 1440 С, а температура ос ветления достигает до , теппи-ратура выработки 1200-1 .

Синтез стекол осущестнляется с : пользованнеп следующих сырьевых м.гг - 170 иалон: кнарцевый песок, оксид цирко ия, глинозем, оксид магния, мел, ксид цинка, сода, оксид молибдена. Как следует из данных, приведенных таблице,вводом и изменением содержа;ия компонентов по сравнению с протоипом достигается не только поставлен- ая цель, но также некоторое улучшё- 1ие физико-химических свойств. Применение предлагаемого стекла :роме облегчения организации отжига :текла снижает себестоимость продукщи за счет экономии электроэнергии, )бусловленной снижением как температу ы осветления (против 1580 1бОО С для прототипа), так и темперагуры отжига, а также за счет повыше- ния процента выхода годной продукции, обусловленного меньшим температурным интервалом кристаллизации. Формула и 3 о б р е т е н и я Стекло, включающее SiO-g, А1 0 MgO, СаО, ZnO, , , отличающееся тем, что, с целью снижения дилатометрической температуры начала деформации, оно дополнительно содержит ZrOj, при следующем соотношении компонентов, мае.%: SiOfi, 52,99-60,0; AlsO 14,5-20,0; MgO 4,6-12,1; СаО 6,4-15,9; ZnO 2,0-3,8;: 0,01-3,1 ; Mogp ,02; ZrOg 0,1-0,5. I. -

Изобретение относится.к хймичес-ки УСТОЙЧИВЫМ стеклам, предназначенным' для производства фотошаблонных пласт- тин. С целью снижения дилатометрической температуры начала деформации стекло содержит, мас.%: SiOQ 52,99- 60; AleOa, 14,5-20; MgO 4,6-12,1; CaO 6.,4-15,9; ZnO 2,0-8,8; Na^) 0,01- 3,1; MoOi 0,01-0,02; ZrO^ ,0,1-0,5. Дилатометрическая температура начала деформации 680-700 *t, температура варки 1400-1430^С, КПТР .(35-39) 40""^l/'t. 1 табл.