Зондовая головка Советский патент 1992 года по МПК H05K1/18 

Изобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано в устройствах для контроля качества вскрытия защитного окисла перед приваркой золотых выводов к контактным площадкам из алюминия.

Цель изобретения - повышение надежности контактирования при контроле качества вскрытия контактных площадок.

На фиг. 1, 2 представлена конструкция зондовой головки в двух проекциях.

Зондовая головка состоит из основания 1, плоского зондодержателя 2 с проволочным зондом 3 с загибом на конце, соединенных между собой упругим гофрированным элементом 4 из двух пружин, образующих пружинный параллелограмм. Основание 1 выполнено в виде конусообразной (вид сверху) рамы, зондодержатель 2 выполнен в виде трапеции с углом 45°. Основание и зондодержатель соединены упругими гофрированными элементами 4.

Зондовая головка работает следующим образом.

Пластина со вскрытыми контактными площадками или неудаленным SI02 помещается на столик автомата зондового Зонд А5 или другого типа. Измерение пробивного напряжения производится на измерителе характеристик полупроводниковых приборов Л2-56(ПХНТ 1,2) или с помощью любой автоматизированной системы (например, Вахта); Контроль качества вскрытия защитного окисла производится между контактами предметный столик (Земля - зонд. Отсчет пробивного напряжения остаточного диэлектрического слоя ведется по развертке луча на экране характериографа или автоматически измеряется измерительной системой. Защитное покрытие считается вскрытым, если пробивное напряжение не превышает 5В.

Преимуществом устройства является возможность достижения надежного контакта вскрытой контактной площадкой микVI

S3 00

СЬ

00

росхем без повреждения при этом тонких пленок невытравленного диэлектрика, При этом зонд с загибом имеет свойство самонастраиваться на контактную площадку, находящуюся в углублении вытравленного диэлектрика, а упругий элемент не позволяет иметь зонду горизонтальное нежелательное перемещение.

Формула изобретения 1. Зондовая головка, содержащая основание и плоский зондодержатель с проволочным зондом, подвешенный к основанию на пружинном параллелограмме, выпол0

5

ненном из плоских ленточных пружин, причем зондодержатель, зонд и пружинный параллелограмм размещены в одной базовой плоскости, отличающаяся тем, что, с целью повышения надежности контактирования при контроле качества вскрытия контактных площадок, на упругих элементах выполнены гофры в направлении, перпендикулярном базовой плоскости, а на конце зонда выполнен загиб в базовой плоскости.

2. Зондовая головка по п. 1,отлича- ю щ а я с и тем, что зонд изготовлен из сплава на основе вольфрама.

Использование: контроль качества вскрытия окисла перед приваркой выводов к контактному площадкам микроэлектронных изделий. Сущность изобретения : устройство содержит основание и плоский зондодержатель с проволочным зондом, подвешенным на пружинном параллелограмме размещёнными в одной базовой плоскости. На упругих элементах пружинного параллелограмма выполнены гофры направлении, перпендикулярном базовой плоскости, а на конце зонда выполнен загиб в базовой плоскости. 1 з.п. ф-лы, 2 ил.

0ua2.