Способ изготовления носителя магнитной аудиозаписи Советский патент 1992 года по МПК G11B5/84 

Изобретение относится к области магнитной записи и может быть использовано при изготовлении носителя магнитной записи на гибкой основе, в частности магнитных лент для звукозаписи.

Известен способ изготовления носителя магнитной записи из Co-Ni для звукозаписи путем наклонного напыления и использования в качестве разделительного слоя - алюминий.

Этотспособ позволяет получить магнитный носитель с приемлемыми характеристиками для звукозаписи. Однако пленки из Co-Ni. обладают недостатками для звукозаписи, в первую очередь, имеют нелинейную амплитудно-частотную характеристику. Использование алюминия не привсдит к увеличению коэрцитивной силы носителя, к тому же он обладает не наилучшей адгезией.

Известен способ изготовления носителя магнитной записи, заключающийся в напылении FeN пленки электрон.ю-лучевым испарением Fe и ионами азота Пленки FeN обладают хорошими техническими характеристиками и коррозионной стойкостью.

Недостатком данного способа является существенное усложнение конструкции вакуумной камеры.

Известен и наиболее близок к технической сущности способ изготовления носителя магнитной записи, заключающийся в прямом (перпендикулярно к основе) напылении на гибкую основу подслоя InGa или других сплавов галия и магнитной пленки Со. Ni, Fe или их сплавов. Достоинством данного способа является высокая эффективность процесса изготовления носителя, недостаток - трудности, связанные с жесткими требованиями к напылению подслоя, очистке основы,оборудованию.

Цель изобретения - повышение качества носителя магнитной аудиозаписи

Указанная цель достигается тем, что в способе изготовления носителя магнитной аудиозаписи, заключающемся в напылении на гибкую диэлектрическую основу в атмосфере азота подслой InGa толщиной 10-20 нм, с последующим напылением магнитной пленки FeN толщиной 30-50 нм под углом не менее 50° относительно нормали к основе, на которую напыляют разделительный слой толщиной 10-20 нм под углом равным углу пыления магнитной пленки причем

VO

VJ

V4

ч

этот процесс пыления трех слоев повторяют от трех до пяти раз, после окончания которого наносят защитный слой, отличающийся тем. что подслой InGA напыляют под углом, равным углу пыления пленки, а в качестве материала разделительного сло я используют хром.

Существенными отличительными признаками в указанной выше совокупности являются напыление подслоя InGa под углом к основе, равным углу пыления магнитной пленки и использование хрома в качестве разделительного слоя.

Указанные выше признаки, отличающие заявляемый способ изготовления носи- те-ля магнитной записи, обусловили появление в заявляемом объекте нового свойства: увеличение коэрцитивной силы и улучшение электроакустических характеристик, что позволяет уменьшить угол напыления и предопределяет положительный эффект предложения.

На чертеже приведена схема поэтапного изготовления носителя магнитной записи.

Носитель магнитной записи состоит из немагнитной основы 1, на которую напылен подслой ImGa 2. На подслой напылена магнитная FeN пленка 3, на которую напылен разделительный слой хрома 4. Сверху магнитную ленту закрывает защитный слой 5.

Предложенный способ осуществляется следующим образом.

На тщательно очищенную и обезжиренную диэлектрическую основу 1 под углом не менее ЬО по нормали к основе вакуумно напыляются подслой InGa 2 толщиной 10- 20 нм, на который напыляются под тем же углом магнитная пленка FeN 3 толщиной 30-59 нм и разделительный слой хрома толщиной 10-20 нм. Все процессы пыления проводятся в атмосфере азота и без вскрытия вакуумной камеры. Процессы напыления этих трех слоев могут повторяться до пяти раз. Данную структуру закрывает защитный слой 5.

Использование подслоя InGa позволяет резко ослабить один из существенных недостатков пленок - необходимость достаточно больших углов пыления для получения направления намагниченности пленок вдоль ленты и требуемых значений коэрцитивной

силы. Наличие подслоя InGa приводит (в случае вертикального пыления) к получению изотропных магнитных пленок практически независимо от угла пыления, а при наклонном пылении - к появлению некоторой анизотропии вдоль ленты. Таким образом, введение подслоя InGa позволяет получать магнитные пленки FeN с(требуемым значением коэрцитивной силы при меньших углах

пыления, что увеличивает эффективность , процесса.

Использование хрома в качестве разделительного слоя позволяет улучшить две характеристики: адгезию слоев и несколько

.повысить коэрцитивную силу, Дело в том, что процесс пыления представляет собой определенные трудности в связи с чрезвычайно малыми температурами плавления и пыления, подслой обладает низкой адгезией, высокими диффузионными свойствами, что ухудшает магнитные свойства пленок. Использование хрома уменьшает эти недостатки лучше чем использование, например, алюминия.

Использование предлагаемого изобретения позволяет уменьшить угол пыления на величину до 10°, что существенно повышает эффективность процесса, т.е. предельные параметры процесса пыления, что

приводит к упрощению установки напыления, самого процесса.напыления и, в конечном счете, к удешевлению продукции.

Формула изобретения Способ изготовления носителя магнитной аудиозаписи, заключающийся в напылении на гибкую Диэлектрическую основу в атмосфере азота подслоя InGa толщиной 10-20 нм, с последующим напылением маг- нитной пленки FeNi, толщиной 30-50 нм и

под углом не менее 50° относительно нормали к основе, на которую напыляют разделительный слой толщиной 10-20 нм под углом, равным углу пыления магнитной

пленки, причем этот процесс напыления трех слоев повторяют от 3 до 5 раз, после окончания которого наносят защитный слой, отлич ающийся тем, что, с целью повышения качества, подслой InGa напыля0 ют под углом, равным углу пыления пленки, при этом в качестве разделительного слоя используют Сг,

Изобретение относится к приборостроению и может быть использовано при изготовлении тонкопленочных магнитных аудиолент методом термического напыления рабочего слоя под углом к основе. С целью повышения качества магнитной ленты, подслой InGa напыляют под углом, равным углу пыления пленки, при этом в качестве разделительного слоя используют хром. 1 ил.