Гальваническая ванна Советский патент 1993 года по МПК C23G3/00 

Изобретение относится к технике гальванического осаждения, металлов в нестационарных режимах по току и электролиту на подложку микросборок и микросхем, но может быть использовано и при производстве печатных плат.

Известна гальваническая ванна,содер- жащая цилиндрическую емкость, перфорированную токопроводящую перегородку, с лопаткой в виде спиральной ленты, имеющей возможность вращения вокруг своей оси(1).

Однако такое выполнение эффективно только для обработки деталей цилиндрической формы.

Наиболее близкой к предложенной является гальваническая ванна карусельного типа, содержащая цилиндрические рабочую и вспомогательную емкости, сообщенные. каналами, приводной вал с уплотнением, держатели и устройства для перемешивания (2).

Однако известное решение не обладает достаточной производительностью.

Цель изобретения - повышение производительности и улучшение обслуживания. На фиг. 1 приведена конструкция предлагаемого устройства; на фиг. 2 .- сечение-. А-А на фиг. 1.

Гальваническая ванна карусельного типа состоит из цилиндрической рабочей емкости 1, под которой расположена цилиндрическая вспомогательная емкость 2. соединенная с рабочей емкостью акси% альным входом каналом 3, по оси которого расположен вал привода (например, электромеханического) 4, установленный в опорах 5 и имеющий возможность вертикального и вращательного движения соответственно от приводов б и 7. В верхней части вала 4 установлено уплотнение 8, перекрывающее канал 3 при вертикаль- ном перемещении вала А и карусель 9 о горизонтально расположенными держателями подложек 10, Наводящимися между кольцевыми анодами-;, параллельно закрепленными на дне рабочей емкости 1 и крышке 12. В нижней части вала 4 привода .е области вспомогательной емкости 2 установлена крыльчатка 13, образующая устройство для подачи и перемещения раствора. Уплотнение 14 предотвращает попадание рабочего раствора в опоры вала 4. По периферии рабочей емкости 1 расположен кольцевой коллектор с форсунками 15 для подачи промывной воды на подложки. Рабочая емкость 1 соединена со вспомогательной емкостью 2 выходным каналом 16 с клапаном 17, а со сливной системой - патрубком 18 с клапаном 19. На крышке 12 установлена система блокировки включения 20 двигателя привода 7.

Устройство для гальванической обра- ботки деталей работает следующим образом.

При открытой крышке 12 и неподвижной карусели 9 весь электролит находится во вспомогательной емкости 2 и имеется

возможность установить подложки в держателе 10, После установки подложек крышка 12 закрывается, отключая блокировку 20, включается привод вертикального перемещения вала 4, а затем привод 7 вращения

вала 4 и крыльчатки 13 через аксиальный входной канал 3 подает электролит в рабочую емкость 1, который затем выливается через выходное отверстие 16, обеспечивая постоянную скорость протекания электролита в промежутке анод-катод. При этом клапан 17 открыт, а клапан 19 закрыт.

После окончания процесса осаждения вал 4 прекращает вращение, в результате чего электролит выливается из рабочей емкости 1 во вспомогательную емкость 2 через отверстие 16, клапан 17 закрывается. Привод вертикального перемещения 6 опускает вал 4 и уплотнение 8 перекрывает аксиальный канал 3. Клапан 19 отжрывает сливной

патрубок 18 и через форсунки 15 подается проточная вода, струи которой обмывают подложки и карусель, затем подача воды прекращается, крышка поднимается и весь процесс повторяется сначала.

- - ,: . : ,,;.

-/Формула изобретения

Гальваническая ванна карусельного типа, содержащая цилиндрические рабочую и вспомогательные емкости, сообщенные

входными и выходными каналами, приводной вал с уплотнением, держатели и устройство для перемешивания раствора, отличающаяся тем, что, с целью повышения производительности и улучшения обслуживания, она снабжена кольцевыми анодами, закрепленными на дне и крышке рабочей емкости, и кольцевым коллектором с форсунками для подачи промывной воды, устройство для перемешивания и

подачи раствора выполнено в виде крыльчатки, установленной на приводном валу в области вспомогательной емкости, при этом рабочая емкость смонтирована над вспомогательной емкостью, вал привода установлен во входном канале рабочей емкости с возможностью вращения и вертикального перемещения, а держатели карусели размещены горизонтально между кольцевыми анодами.

1786192 А-А

Использование: гальваническое осаждение металлов в нестационарных режимах по току и электролиту на подложки микросхем и мйкросборок. Сущность изобретения: гальваническая ванна состоит из рабочей емкости 1, под которой расположена вспомогательная емкость 2, соединенная с рабочей емкостью аксиальным входным каналом 3, по оси каждого расположен вал 4 привода, установленный в опорах 5 и имеющий возможность вертикального и враща12 9 тельного движения соответственно от приводов 6 и 7. В верхней части вала 4 установлено уплотнение 8, перекрывающее канал 3 при вертикальном перемещении вала 4, и карусель 9 с горизонтально расположенными держателями подложек 10, находящимися между кольцевыми анодами 11, параллельно закрепленными на основании рабочей емкости 1.й крышке 12. В нижней части вала привода в области вспомогательной емкости 2 установлены лопасти турбины 13, Уплотнение 14 предотвращает попадание рабочего раствора в споры вала 4. По периферии рабочей емкости 1 расположен коллектор с форсунками 15 для подачи промывочной воды на подложки. Рабочая емкость 1 соединена со вспомогательной емкостью 2 выходным отверстием 16 с клапаном 17, а со сливной системой - патрубком 18с клапанном 19. На крышке 12 установлена система 20 блокировки включения двигателя привода 7. 2 ил. 4 81 U / Ё

Фи$.Ј