Способ изготовления полупроводникового прибора со стеклянным корпусом Советский патент 1993 года по МПК H01L21/56 

После пайки выводов и сборки заготовки прибора осуществляют герметизацию. При этом герметизацию проводят по двум технологическим схемам.

Окунание и обволакивание собранного прибора шликером из порошкового стекла. Для придания правильной формы и удаление излишков жидкого герметизирующего состава остекловываемые приборы вращают, в-этом случае форма (точность размеров) изделий не регламентируется. Высушенные при 80-105°С в течение 30-60 мин изделия оплавляются при 700°С в защитной атмосфере.

Заливку в съемную форму при групповой технолг.ии изготовления диодов осуществляют следующим образом. В открытую часть формы с предварительно загруженной металлической арматурой и кристаллами (заготовками приборов) заливают шликер из порошкового стекла. Заливку осуществляют при комнатной температуре, затем загерметизированные приборы в кассете сушат в проходной печи при температуре 80-105°С в течение 0.5-1,0 ч, после чего оплавляют при 700°С в защитной атмосфере.

Изготовленные полупроводниковые приборы испытывали с целью определения напряжения пробоя. При этом оставляли неизменной технологию получения всех компонентов прибора и его герметизацию, изменению подвергалась форма кромок электрододержателей (радиус наружного скругления). Как следует из приведенных в

таблице данных оптимальный радиус наружного скругления составляет ,2 мм, при этих значениях достигается требуемое рабочее напряжение пробоя (не менее

1500В).

Кроме того, использование электрододержателей, полученных прессованием порошка молибдена исключает возможность возникновения областей с напряжениями в

стекле, вследствие сохранения остаточной пористости (не более 5%) играющей роль демпфера, что повышает величину рабочего напряжения пробоя.

Форм ула изобретения

Способ изготовления полупроводникового прибора со стеклянным корпусом, включающий изготовление молибденовых электрододержателей, соединение пайкой

электрододержателей с медными выводами и полупроводниковой структурой и герметизацию заготовки стеклом, отличающий- с я тем, что, с целью повышения рабочего напряжения, молибденовые электрододержатели изготавливают прессованием порошка при давлении 400-500 МПа, спекание при 1000-1100°С в течение 1-1,5 ч в атмосфере водорода и выдержке в вакууме при 1100-1800°С в течение не менее Зч, а герметизацию стеклом осуществляют заливкой заготовки шликером из порошкового стекла, сушкой в печи при 80-105°С в течение 0,5-1,0 ч и оплавлением в защитной атмосфере.