Способ изготовления тонкопленочных резисторов Советский патент 1993 года по МПК H01C17/24 

:; Изобретение нбейтсйkобласти:;эле ; тронной .н :йР етис:г10ль технологий :прьйз|1эйqtea. тЬ ленрчиЙх резисторов и Ыбрйдных рйл ь Ьхё м (ГИС) :для подгонки тр;нкбг1л;1е:нйчных сторов::й функцибналЬной поДтоЦки ГИС. ; -:

; - :Целью расшйрё- . ние дййп ЙЗ |мёйёния;|елиг|инь( сбпрб тиален й; рёзистбров ( ухудшения основны.х технических ха;р ктерйб%1кУ и уп- р(б1иёйие ТеХн;олбШи подгонки, ; ::; ; :(

На -фиг.Т показан тонкрпленбчный рези стор, п одгЬн ка .кото рйго осуtUecf влиется резами в проДбльйых и поперечных перемычках с образойёниём зигзагообразной резйстивной цепи в продольном направлении. В этом варианте диапазон сопротивления резистора изменяется от

2п 41 ДО 2л-2(щ-1)+(п1-4)+ 40,57,

о где hi - г число квадратов каждого рези ставного элемента; ;/1, . . ;; У. -- ;;г: .-.. I -длина резйстивного элемента; .-;

. b - ширина продольных и поперечных ;:перемычек:/между отверстиями, ширина кромки ёЗйстйвядгослйя (элемента), размер сторбныкёадратнотЬотеерст11я;; ;

Диапазон: изменения номинальных значений сопротивлений выражается форму- лой . :.:;.:; - -: -:г:, .- -.. -

; ; j 2-(щ - 1) Ч-(щ -4) + 2,

;.:,- ,. ;:- 1 / : .... . -. , ; Зависимость d отщ показана в табл.1.

На фиг,2 показан тонкопленочный ре- $истор, подгонку которого осуществляется .рёзами в продольных и поперечных перемычках с образованием зигзагообразной резйстивной цепи в поперечном направлеел

С

00

-

to ел о

ю

нии. В этом варианте номинал сопротивоП1

пения резистора изменяется от 2л до 2л (п 1-1)-2,57, а диапазон изменения

. (ГЦ -JV7.71 сопротивления составит d i---р--.

Зависимость d от m показана в табл.2.

Зависимость приращения числа квадратов от резон для варианта, изображенного на фиг,2, приведена в табл.3.

Подгонку по предлагаемому способу производят следующим образом,

Для каждого резистора определяют величину удельного сопротивления напыления

пап

гдеРнап; - величина сопротивления резистора после напыления;

п - расчетное число квадратов данного резистора, определяемое топологией.

Подсчитывают число квадратов, которое необходимо для достижения номинального значения сопротивления резистора.

Подсчитывают число квадратбв, которое необходимо добавить для достижения Рном

В соответствии с полученной величиной по табл.3 определяют необходимое количество резов.

Технико-экономическая эффективность данного способа изготовления тонкопленочных резисторов по сравнению с прототипом заключается в следующем: позволяет увеличить диапазон подгонки сопротивле

0

5

0

5

0

5

ния резисторов от 7 до 9 раз без изменения топологии, резистивного материала без ухудшения стабильности сопротивления резисторов и их нагрузочной способности; вариант подгонки и количество резов определяют в зависимости от напыленной резистивной пленки и требуемого номинала сопротивления резистора, что упрощает технологический процесс подгонки, облегчает его автоматизацию и удешевляет процесс подгонки.

Формула изобретения Способ изготовления тонкопленочных резисторов, включающий напыление на диэлектрическую подложку резистивного слоя прямоугольной формы, формирование примыкающих к его меньшим сторонам контактных площадок, формирование методом фотолитографии из резистивного слоя решетчатой структуры с регулярно расположенными в нем квадратными отверстиями по всей его площади с шириной продольных и поперечных перемычек между отверстиями и кромками резистивного.слоя, равной стороне отверстия, определению величины удельного поверхностного сопротивления резистивного слоя и подгонку до требуемой величины сопротивления выполнением заданного количества резов, о т л и ч а ю щ и- й с я тем, что, с целью расширения диапазона подгонки и упрощения технологии подгонки, подгонку осуществляют последовательным выполнением резов в продольных и поперечных перемычках с образрвайием зигзагообразной резистивной цепи в продольном и поперечном направлениях.

Назначение: изобретение относится и злёктронной технике, в частности к произ- еодству трнкопленочных резисторов. Сущность: для расширения диапазона ПОДГОНКИ величины бопротивления резисторов и уп- рбщений ёгЬ технологического процесса: подгонку оСуществля(от послеДоватёдьн,Ь|1М . выполнением резбв в продольных и попё- речных перемычках между окнами Ь ббразо- н и е м и ёп р е р ы в н о и я и гз а г о об разной резйстивной Цепи в продольном и попёреч- |:ном/направленм х.2и71. : V .;.

Таблица 1

Таблица 2

Таблица 3