Механизм прямолинейного перемещения детали при нанесении покрытий в вакууме Советский патент 1993 года по МПК C23C14/50 

Изобретение касается нанесения покрытий в вакууме и чистых технологических средах.

Цель изобретения - повышение точности позиционирования при обеспечении возможности контроля величины перемещения.

Введение в механизм прямолинейного перемещения биметаллических пластин или биморфов обеспечивает изменение кривизны бипластин при подаче на них электрического напряжения регулируемой величины, а следовательно, возможность перемещения стержня в прецизионном возвратно-поступательном режиме работы, что и позволяет достичь указанную в формуле изобретения цель - повышение точности позиционирования при обеспечении возможности контроля величины перемещения.

На фиг. 1 изображен механизм с биметаллическими пластинами; на фиг. 2 - механизм с биморфами.

Механизм прямолинейного перемещения содержит корпус 1, внутри которого расположен подвижный стержень 2 на опорах в виде упругих пружин 3. Упругие пружины 3 выполнены в виде бипластин 4 с углом наклона к горизонтали 40-50°, жестко связанных между собой с возможностью подачи на них электрического напряжения регулируемой величины от источника напряжения 5. Бипластины 4 (фиг. 1} выполнены из металлов с различными коэффициентами линейного расширения или в виде биморфов (фиг. 2) - одна пластина 6 - металлическая, а другая 7 пьезокерамическая. Углы наклона бипластин к горизонта л е 40-50° выбраны таким образом, чтобы перемещение стержня 2 было максимальным.

(Л

С

со го -ч

4 О О

Механизм прямолинейного перемещения детали при нанесении покрытий в вакууме работает следующим образом.

При подаче на бипластины 4 электрического напряжения регулируемой величины от источника тока 5. происходит их изгиб, который показан на фиг. 1, 2 пунктирной линией. При этом стержень 2 начинает строго прямолинейно перемещаться.

В первом механизме {фиг. 1) изгиб бип- ластин происходит в виду того, что пластины (биметаллические) имеют различные коэффициенты линейного расширения, за счет прохождения по ним электрического тока они нагреваются и изгибаются.

Во втором механизме (фиг. 2) изгиб бип- ластин 4 происходит в виду того, что одна из них - 7, пьезокерамическа я. При подаче на пьезопластину 7 электрического напряжения происходит уменьшение или увеличение ее длины (пьезоэффект) что в совокупности обеспечивает изгиб бипластины 4 (биморфа) на заданную величину, в соответствии с величиной поданного элект0

рического напряжения и, как следствие прямолинейное перемещение стержня 2.

Применение предложенного механизма прямолинейного перемещения детали при нанесении покрытий в вакууме позволяет повысить точность позиционирования при обеспечении возможности контроля величины перемещения.

Устройство целесообразно использовать при создании экологически чистого технологического оборудования электронной техники.

Формула изобретения

Механизм прямолинейного перемещения 5 детали при нанесении покрытий в вакууме, содержащий корпус с жестко закрепленными на нем бипластинами, источник электрического тока, к клеммам которого подключены бипластины, и деталь, отличающийся тем, что, с целью расширения эксплуатационных возможностей, деталь выполнена в виде стержня и установлена на бипластины внутри полого корпуса, а пластины выполнены из металлов и закреплены на корпусе под углом 40-50°.

0

5

Изобретение касается нанесения покрытий в вакууме и чистых технологических средах. Цель изобретения - повышение точности позиционирования при обеспечении возможности контроля величины перемещения. Поставленная цель достигается тем. что упругие элементы выполнены в виде бипластин, жестко связанных между собой, с возможностью подачи на бипластины электрического.напря- жения регулируемой величины, причем бипластины могут быть выполнены из металлов с различными коэффициентами линейного расширения или в виде биморфов - одна пластина металлическая, а другая -пьезокерами- ческая, а угол наклона пластин к горизонтали будет 40-50°. 2 ил.

ф&9.1

4&&е.2