Устройство для натяжения алмазного круга с внутренней режущей кромкой Советский патент 1993 года по МПК B24D5/12 B24D18/00 

Изобретение относится к полупроводниковой технике, к механической обработке материалов, и может быть использовано для подготовки технологического оборудования релки монокристаллов на пластины с по- мо дью алмазного круга с внутренней режущей кромкой.

Целью изобретения является высоко- то1 ное получение требуемой формы профиля оежущей кромки алмазного круга.

На фиг.1 показана принципиальная схема устройства; на фиг.2 - профиль режущей кромки алмазного круга, подготовленный длм резки с помощью этого устройства (обозначения приведены ниже).

Устройство для натяжения содержит корпус 1 алмазного круга с внутренней режу це и кромкой 2, группу натяжных болтов 3, расположенных на барабане станка резки, датчик 4 измерения радиального биения режущей кромки, регистрирующий прибор 5 в виде синхронной следящей дистанционной системы регистрации углового перемещения. Регистрирующий прибор состоит из передачи углового перемещения круга сельсин-датчик 6 и сельсин-приемник 7, средства 8 передачи значений радиального перемещения кромки, электронного блока 9 усиления и преобразования электрических сигналов. Устройство снабжено прибором графического изображения профиля режущей кромки в виде самописца 10 с диаграммой в полярных координатах.

Устройство работает следующим образом,

На станке резки Алмаз-бМ, оснащенном средством механического натяжения алмазного круга с внутренней режущей

00 СА 00 О

VI

И

кромкой, на барабане устанавливают круг 1, закрепляют датчик 4 измерения радиального биения режущей кромки и сельсин-датчик 6 синхронной следящей дистанционной системы передачи углового перемещения круга. Осуществляют натяжение алмазного круга с помощью болтов 3. При включенном регистрирующем приборе 5 при натяжении и повороте круга на самописце 10 фиксируют в масштабе профиль режущей кромки 2. При этом дискретно количеству натяжных болтов 3 можно у каждого болта оценить отклонение от идеальной окружности режущей кромки и провести корректировку вели- чины радиального биения, добиваясь минимального в пределах 5-10 мкм отклонения, Используя связи 4-8-9 и 6-7-9, путем затяжки болтов через один добиваются образования режущей кромки 2 в виде вершин 11 и впадин 12 (см. фиг,2), например, с пе- репадом высот в 20-50 мкм. Автоматически требуемая форма профиля режущей кромки в масштабе изображается в полярных координатах на самописце 10, что подтверждает высокую точность наладки оборудования. Датчики 4 и 6 снимают со станка, отключают

прибор 5 и выполняют резку монокристаллов на пластины.

Эффективность применения устройства заключается в возможности активного контроля натяжения алмазного круга и точного создания требуемого (по заданию) формы профиля режущей кромки, что позволяет повысить стойкость алмазного круга, улучшить подвод смазочно-охлаждающей жидкости и обеспечить высокое качество отрезаемых пластин за счет целенаправленного выбора при натяжении круга рабочих участков режущей кромки (вершин 11 на фиг.2). Формула изобретения Устройство для натяжения алмазного круга с внутренней режущей кромкой, включающее узел натягивания и датчик измерения радиального биения режущей кромки круга, отличающееся тем, что устройство дополнительно снабжено синхронной следящей дистанционной системой регистрации углового перемещения круга, связанной с датчиком измерения радиального биения режущей кромки круга и прибором графического изображения профиля внутренней режущей кромки.

Изобретение относится к полупроводниковой технике, к механической обработке материалов и может быть использовано для подготовки технологического оборудования peiiKH монокристаллов на пластины с помощью алмазных кругов с внутренней режущей кромкой. Сущность изобретения: устройство для натяжения алмазного круга включает средство для механического натя- жени.я корпуса круга с помощью натяжения болтов, датчик измерения радиальных биений режущей кромки. Кроме того, оно снабжено регистрирующим прибором с синхронной следящей дистанционной системой передачи углового перемещения алмазного круга на регистрирующий прибор и .средством передачи на регистрирующий прибор значений радиальных перемещений режущей кромки при натяжении алмазного круга дискретно каждому натяжному болту. Регистрирующий прибор выполнен совместно со средством изображения полного профиля режущей кромки. 2 ил. ё

Фи&(

фие.2