СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ МИКРОЭЛЕКТРОДОВ В КВАРЦЕВОЙ ИЗОЛЯЦИИ Советский патент 1967 года по МПК A61B5/478 H01B13/22 

Известны способы изготовления металлических микроэлектродов в кварцевой изоляции. Однако эти способы не обеспечивают равномерного покрытия металлической части электрода кварцевым стеклом, поэтому металлом и кварцем возникает зазор.

Предлагаемый способ отличается от указанных тем, что, с целью равномерного покрытия металлической части электрода кварцевым стеклом, придания необходимой формы микроэлектроду и устранения зазора между металлом и кварцем, кварцевый капилляр с помещенным в него металлом, например платиной, растягивают с предварительным нагревом в зоне расположения металла до температуры расплавления металла и размягчения кварца, а после охлаждения заготовок зазор между металлом и кварцем заполняют под вакуумом полимерным материалом с высоким объемным сопротивлением.

Для получения надежного и низкоомпого контакта между металлической частью микроэлектрода и контактным проводником, последний вводится в кварцевый капилляр до соприкосновения с предварительно разогретой до температуры плавления контактного проводника металлической частью микроэлектроДа.

новой, диаметром 0,5 мм и длиной 0,5-1,0 мм помещают в середину кварцевого капилляра диаметром 1,5-2,0 мм и длиной 7-8 ел. Медленно вращая капилляр в пламени микрогорелки, добиваются расплавления платины и размягчения кварца. Затем капилляр растягивают так, чтобы капля платины, заполнивщая часть его объема, распределилась поровну в обоих растянутых отрезках. К полученным заготовкам припаивают тонкий кварцевый капилляр, вновь раснлавляют платину и медленно с постепенным ускорением оттягивают кончик электрода, одновременно выводя его из зоны нагрева. Ввод изготовляют измедной проволоки сплавлением ее с металлической частью микроэлектрода.

Так как металл и кварц имеют различные коэффициенты линейного расщирения, при охлаждеиии между платиной и кварцем образуется зазор, для устранения которого несколько электродов помещают в пробирку, заполненную эпоксидной смолой с отвердителем и снабженную нагревательной спиралью. Пробирку помещают в вакуумную установку и

при остаточном давлении ЮЗ-IQ-i мм рт. ст. расплавляют смолу. Через 10-30 мин (в зависимости от количества отвердителя) электроды вынимают. С поверхности стекла смолу снимают бензолом, а кончик микроэлекПредмет изобретения

1. Способ изготовления металлических микроэлектродов в кварцевой изоляции, отличающийся тем, что, с целью равномерного покрытия металлической части электрода кварцевым стеклом, придания необходимой формы микроэлектроду и устранения зазора меледу металлом и кварцем, кварцевый капилляр с помещенным в него металлом, например платиной, растягивают с предварительным нагревом в зоне расположения металла до температуры расплавления металла и размягчения

кварца, а после охлаждения заготовок зазор между металлом и кварцем заполняют под вакуумом полимерным материалом с высоким объемным сопротивлением.

2. Снособ по п. 1, отличающийся тем, что, с целью получения надежного и низкоомного контакта металлической частью микроэлектрода и контактным проводником, носледний вводится в кварцевый канилляр до

соприкосновения с предварительно разогретой до температуры плавлепия контактного проводника металлической частью микроэлектрода.