В известных способах автоматического управления процессами получения чистых материалов из газовой фазы переменные входные параметры процесса регулируют с помощью автоматических регуляторов по заданным программам, определяемым из услоьия ведения процесса при ма кснмальной скорости осаждения.
Особенностью описываемого способа является то, что в течение процесса непрерывно онределяют скорость убывания омического сопротивления наращиваемого материала, в зависимости от которой производят ноиск и поддержание оптимальных значений входных неременных параметров, соответствующих максимальному значению критерия производительности. Это дает возможность устранить влияние различных внешних и внутренних факторов на установленный ход процесса, в результате чего повышается его производительность.
По описываемому способу измеряемая непрерывно в ходе процесса величина, обратная омическому сопротивлению наращиваемого материала, и сигнал отклонения температуры
от задания подаются в вычислительное устройство, с помощью которого в течение фиксированного промежутка времени определяется критерий производительности. Поиск оптимальных значений входных параметров, соответствующих максимуму этого критерия, осуществляется последовательно с помощью экстремального регулятора.
Предмет изобретения
Способ автоматического управления процессами получения чистых материалов из газовой фазы, с осалсдением на твердую подложку, путем регулирования входных параметров с помощью автоматических регуляторов, отличающийся тем, что, с целью повышения производительности процесса, в ходе его непрерывно определяют скорость убывания омического сопротивления наращиваемого Материала, в зависимости от которой производят поиск и поддержание оптимальных значений входных переменных параметров, соответствующих максимальному значению критерия производительности.
