УСТРОЙСТВО для МЕТАЛЛИЗАЦИИ В ВАКУУМЕ Советский патент 1967 года по МПК C23C14/24 

Известны устройства для металлизации в вакууме изделий с неподвижным расположением кассет с деталями и испарителей. Описываемое устройство отличается от известных тем, что вакуумная камера снабжена контейнером с секционной токоведущей шиной, в котором испарители и кассеты с деталями расположены секционно, и подвижной кареткой со скользящим контактом, перемещающейся внутри или снаружи камеры, служащей для подачи напряжения на секции токоведущей щины контейнера. Устройство в таком выполнении обеснечивает получение качественных покрытий при обработке изделий сложной конфигурации и имеет большую производительность. Па чертеже показано описываемое устройство. Оно имеет вакуумную камеру /, в которой расположен контейнер 2, снабженный секционной токоведущей щиной с. В контейнере испарители 4 и кассеты 5 с деталями расположены секционно. Камера снабжена подвижной кареткой 6 со скользящим контактом, которая может перемещаться снаружи или внутри камеры. Кроме того, устройство снабжено системой откачки 7. ния операции загрузки.и выгрузки контейнеров в течение рабочего цикла камеры. Панряжение на испарители подают при помощи подвижной каретки, обеспечивающей автоматическое подключение испарителей в необходимой последовательности. При движении каретки в начале цикла она обеспечивает подачу напряжения для оплавления и обезгаживания испаряемого материала, а затем подачу напряжения для испарения. Предмет изобретения Устройство для металлизации в вакууме, содержащее вакуумную камеру с расположенными в ней испарителями и кассетами с деталями, откачную систему, отличающееся тем, что, с целью получепия качественных покрытий при обработке изделий сложной конфигурации и увеличения производительности, камера снабжена контейнером с секционной токфведущей шиной, в котором испарители и кассеты с деталями расположены секционно, и подвижной кареткой со скользящим контактом, перемещающейся внутри или снаружи камеры, служащей для подачи напряжения на секции токоведущей шины контейнера.