УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ В ВАКУУМЕ НА КЕРАМИЧЕСКИЕ ОСНОВАНИЯ РЕЗИСТОРОВ Советский патент 1974 года по МПК C23C14/26 H01C17/08 

1

Известно устройство для нанесения покрытий в вакууме на детали, содержащее вакуумную камеру с вращающимся барабаном, внутри которого расположен испаритель, загрузочное и разгрузочное приспособления.

Предложенное устройство отличается от известного тем, что барабан выполнен с выдвигающейся стенкой, а испаритель - в виде «беличьего колеса, образованного рядом керамических стержней, служащих для размещения на них нихромовых спиралей испарите пя.

Такое выполнение устройства обеспечивает автоматизацию процесса и надежность работы устройства.

На фиг. 1 представлена схема вакуумной системы предлагаемого устройства; на фиг.

2- общий вид вакуумной камеры; на фиг.

3- общий вид испарителя; на фиг. 4 - общий вид барабана; на фиг. 5 - продольный разрез барабана.

Устройство состоит из вакуумной камеры / с вращающимся барабаном 2, внутри которого расположен испаритель 3, загрузочного приспособления 4 и разгрузочного приспособления 5. Барабан 2 выполнен с выдвигающейся стенкой, а испаритель 5 - в виде «беличьего колеса, образованного рядом керамических стержней 6, служащих для размещения на них нихромовых спиралей 7.

Вакуумная система устройства подразделяется на две подсистемы: первая обеспечивает вакуум 2-5-10.«,« рт. ст. в камере /,. вторая работает попеременно: то на щлюз 8, то на шлюз 9, при этом вакуум в щлюзак

должен быть не хуже мм рт. ст. К первой вакуумной подсистеме подключены форвакуумный насос .10 п паромасляный насос 11. Посредством вакуумных кранов 12 и 13 и вакуумного затвора 14 к форвакуумному насосу 10 подсоединяется только объем камеры / или объем паромасляного насоса 11. Ко второй вакуумной подсистеме подключен только форвакуумный насос 15. Шлюзы 8 м 9 периодически подключаются к камере / посредством

вакуумных затворов 16 и 17. Вакуумные краны 18 и 19 попеременно подключают к форвакуумному насосу 15 то шлюз В, то шлюз 9. Шлюзы 8 м 9 соединяются с форвакуумным насосом 15 посредством вакуумных кранов 18

и 19. Внутри шлюзов 8 9 расположены емкости 20 и 21, в которые нодаются основания резисторов: перед загрузкой в барабан 2 ия загрузочного приспособления 4 в емкость 20 при открытом затворе 22 и после металлизации из барабана 2 в емкость 21 при открытом затворе 17.

Емкости 20 и 21 снабжены рычагами 23 и 24, служащими для новорачивания этих емкостей вокруг оси, проходящей вдоль емкости. Такая конструкция шлюзов позволяет подавать основания резисторов при открытых затворах 16 и 25 в барабан 2 и емкость разгрузочного приспособления 5. «Беличье колесо испарителя закреплено на основании 26 испарителя. Основание испарителя после каждого цикла металлизации (прогрев спирали и испарение сплава) поворачивается на угол 90-60°. При этo к токоведущим контактам, установленным на держателе 27, подключается очередная спираль. Спирали 7 испарителя экранированы друг от друга посредством экранов 28. К кольцу 29 барабана прикреплены шестерня 30 для привода во вращение барабана, направляющие пластины 31, скрепляющие кольца 32 и 33, гофры 34, способствующие равномерному перемещиванию оснований резисторов и скрепляющие боковые стенки 35 барабана. Цилиндрическая стенка 36 барабана перемещается между направляющими пластинами 31 н гофрами 34. Цилиндрическую стенку 36 барабана приводит в движение палец 37, которому после захода в сцепление с двумя кольцами сообщается прямолинейное возвратно-поступательное движение.

При открытом затворе 22 основания резисторов подают в емкость 20. Затвор 22 закрывается и производится откачка в шлюзе 8 до 10 мм рт. ст. По достижению указанной степени вакуума открывается затвор 16, емкость 20 поворачивается вокруг оси, и основания резисторов по лотку 38 попадают в барабан 2. Закрывается затвор 16 и производится

в течение Г мин откачка до 2-5- мм рт. ст. Затем подается ток на токоведущие контакты, установленные на держателе 27, к которым подключена одна из спиралей 7. Начинается цикл металлизации. По окончанию

никла металлизации при условии, что в, шлюзе 9 вакуум не хуже 10 ,и.и рт.-ст., открывается затвор /7. Приводится в движение палец 37, который выдвигает цилиндрическую

стенку 36 барабана 2 вправо. При этом, основания резисторов по лотку .5 подаются в емкость 21. Закрывается затвор 17. Открывается затвор 25. Емкость 21 поворачивается вокруг оси и основания резисторов просыпаются в емкость разгрузочного приспособления 5. Затвор 25 закрывается. Затем процесс металлизации повторяется.

Предмет изобретения

Устройство для нанесения покрытий в вакууме па керамические основания резисторов, содержащее вакуумную камеру с вращающимся барабаном, внутри которого расположен испаритель, загрузочпое и разгрузочное нриспособления, отличающееся тем, что, с целью автоматизации процесса и повышении надежности раб)ты, барабан выполнен с выдвигаюш,ейся стенкой, а испаритель - в виде «беличьего колеса, образованного рядом керамических стержней, служащих для размещения на них нихромовых спиралей испарителя.

ii31AJIJ)J5SyyLfi

33

J5

ir

)JL JLQJL9iO 0 Q 00000 0 0/CrOuOTC

Qi л , шЛ . I л . л . . . л - - тГ 1

л

jj

J4

cpui 2

A

/

-«-JJ +

bJJ

J/

f

.JJ

30

J4

fpu2.&