СПОСОБ НАНЕСЕНИЯ АЛУНДОВОГО НОКРЫТИЯ Советский патент 1967 года по МПК C23C14/00 H01J9/08 

Известны способы нанесения алундовых покрытий на подогреватели катодов электроиных приборов путем электрофреза. Однако такие способы не позволяют получать покрытия малых толщин « 1ц).

Предлагаемый способ панесения алундового покрытия на детали электронных приборов, папример на подогреватели катодов, отличается от известных тем, что иа деталь испарением в вакууме наносят алюминийсодержащее органическое соединение н прогревают ее при температуре разложения соединения. При этом толщина покрытия снижается, а его механическая прочность повышается.

На деталь испарением в вакууме наносят, например, этилат алюминия и прогревают ее при температуре 675 + 25°С.

Установка для нанесения алундовых покрытий описываемым способом состоит из сосуда, в котором проводится реакция разложения этилата алюминия, и системы для создания вакуума Р мм рт. ст. В реакционный сосуд - стеклянный баллон емкостью 1 л вварены молибденовые вводы, на которых крепятся подогреватели. Этилат алюмипия помещают в отросток, расположенный в нижней части баллона и нагреваемый с помощью съемной трубчатой электропечи.

ния баллон заваривают и припаивают к вакуумной установке. При давленпи 10 з-iQ-e мм рт. ст. отжигают нодогреватели при температуре, превыщающей на 200°С экспериментальную. По достижении вакуума 10 з-IQ-s мм рт. ст. этилат алюминия нагревают трубчатой печью до 180°С. Затем включают нагрев подложки (подогревателей).

Оптимальные условия получения высококачественных пленок (толщрпюй 3 j.i с удельным сопротивлением ом см-2/м) следующие: температура подложки 675 j; 25°С, температура этилата алюминия 80°С,

время нанесения 20 лшн. Электрическая прочность плепок близка к прочности покрытий толщиной 60 , полученных одним из известных способов.

20

Предмет изобретения

I. Способ нанесения алундового покрытия на детали электронных приборов, например на подогреватели катодов, отличающийся тем, что, с целью снижепия толщины покрытия и повыщения его механической прочности, на деталь испарением в вакууме наносят алюмикийсодержащее органическое соединение и 3 прогревают ее при температуре разложения соединения. 2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что 4 на деталь испарением в вакууме наносят этилат алюминия и прогревают ее при температуре 675 + 25°С.