МЕХАНИЗМ ГРУППОВОЙ ЗАГРУЗКИ ЭЛЕКТРОДОВ В КАССЕТЫ Советский патент 1967 года по МПК H01L21/00 

Известны механизмы групповой загрузки электродов в кассеты, состоящие из вибратора, загрузочного устройства и устройства для подачи кассет.

Предлагаемый механизм групповой загрузки электродов отличается от известных тем, что загрузочное устройство выполпено из неподвижного бункера с герметично закрывающейся крыщкой, соединенного с вакуумной системой, и расположенных на одном валу кулачков, управляющих включением вибратора и созданием вакуума в бункере.

Предложенный механизм используется нри групповой загрузке кассет электродами для снлавления р-/г-переходов. Он позволяет загружать элекгроды заподлицо с плоскостью кассеты.

На чертеже изображен механизм групновой загрузки электродов в кассеты в обпгем виде.

Механизм состоит из бункера 1 с герметичной крыщкой 2, имеющей ндтуцер 5 для соединения с вакуумной системой. Дно бункера I состонт из пластин 4 и .5 с отверстиями. Толщина пластины 4 равна длине загружаемого электрода, а нластины 5-з/5 длины электрода. Бункер крепится жестко иа вибраторе 6, в верхней части которого имеется окно для помеп;ення кассеты 7, гнезда которой соосны отверстиям пластин 4 ii 5.

Диа.метр отверстия пластины 4 равен /2 длины электрода, диаметр отверстий пластины 5 больше днаметра электрода, но меньше суммы двух его диаметров.

Кассета 7 располагается под нластиной 5 с зазором. Кассеты подаются под нагрузку устройством, состоящим из кассетоносите.чя 8, совершающего возвратно-поступательное движение от кулачка 9 через шток W, зубчатую пару // и рейку 12. На одном валу 13 с кулачком 9 раз.мещаются кулачок М для перемещения приемных ланок 15 и кулачок /6, управляющий через микропереключатели--/- и 18

включением электромагнитного крана 19 и вибратора 6. Вал 13 вращается от привода (на чертеже не показан).

Работа механизма заключается в следуюн.1ем.

В бункер / загружаются электроды 20. Кассета 7 помещается в кассетоноситель 8 и включается привод вала /5. Кулачок 9 через шток 10, зубчатую пару /У и рейку 12 перемещает кассету 7 в приемные ланки 15, которые отводятся для приема кассеты в нижнее положение кулачком 14 через рычажный механизм лапки захватывают кассету 7 и подают ее в окно вибратора 6, который включает ся нри срабатывании микропереключателя 17

Под действием вибрации электроды 20 через отверстия пластин 4 и 5 попадают с гнезда кассеты 7, а следующие за ипми электроды западают в отверстия пластин 4 и 5. Кулачок 14 через микропереключатель 18 включает злектромагиитиый крап 19, соединяющий буикер с вакуумной магистралью, а микровыключатель 17 выключает вибрацию.

Из-за разрежения в буикере воздух всасывается через отверстия в пластинах 4 vi 5, увлекает за собой электроды 20, освобождая отверстия в пластине 5. Загруженная кассета 7 лапками 15 опускается в кассетоиоситель 8 и с помощью кулачка 9, штока 10, зубчатой пары 11 и рейки 12 возвращается в исходное положение для смены кассеты 7. В это время вакуум в бункере не позволяет электродам 20 пройти через отверстия пластины 5 до подачи очередной кассеты иод загрузку.

После того как следующая кассета приходит в положение под загрузку, кулачок 14 отключает вакуумную магистраль краном 19, включает вибратор 6, и цикл повторяется.

Предмет изобретения

Мехаиизм групповой загрузки электродов в кассеты, состоящий из загрузочпого устройства, вибратора и механизма подачи кассет под загрузку, отличающийся тем, что, с целью загрузки электродов заподлицо с плоскостью кассеты, загрузочное устройство выполнеио в виде соединенного с вакуумной системой и неподвижпо укрепленного на вибраторе бункера с герметично закрывающейся крыщкой ,и системы расположенных на одном валу кулачков, уиравляюи;их включением вибратора и подачей вакуума в бункер.