УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОРИЕНТИРОВАННОЙ РЕЗКИ МОНОКРИСТАЛЛОВ Советский патент 1967 года по МПК H01L21/00 

В настоящее время ориентированная резка монокристаллов проходит в два этапа: сначала на установках оптической ориентации нахоДят нужную кристаллографическую плоскость, затем кристалл переносят на станок резки. В результате этого снижается точность ориентированной резки.

В предлагаемом устройстве для повышения точности ориентированной резки, оптическая ось системы ориентации совмещена с осью вращения кольцеобразной пилы, для чего шпиндель и прикрепленная к нему дисковая головка имеют сквозное отверстие вдоль их оси вращения, а в качестве экрана системы ориентации использована внутренняя стенка дисковой головки. I

На чертеже приведено описываемое устройство.

Оно состоит из системы оптической ориентации и станка резки.

Система оптической ориентации содержит осветитель /, дающий узкий пучок света, экран 2, в качестве которого используется внутренняя задняя стенка дисковой головки 3, и поворотный механизм 4, к которому через переходную пластину 5 крепится монокристалл 6. Станок резки имеет щпиндель 7, вдоль оси которого проходит сквозное отверстие 8;

дисковую головку 3, прикрепленную к шпинделю, к которой, в свою очередь, крепится кольцеобразная пила 9 с внутренней режущей кромкой. Внутренняя задняя стенка дисковой головки имеет в центре отверстие для прохождения луча света от осветителя /.

Монокристалл 6, который надо разрезать по определенным кристаллографическим плоскостям, через переходную пластину 5 крепится к поворотному механизму 4. Включается осветитель 1, и луч света, пройдя через сквозной канал шпинделя и отверстие в дне дисковой головки 3, попадает на поверхность монокристалла. Отраженный от поверхности свет дает на экране 2 соответствующую световую картину. По ее виду и положению пятен судят о положении кристаллографических плоскостей монокристалла по отношению к оптической оси (оси вращения щпинделя) устройства. Поворачивая с помощью поворотного механизма 4 монокристалл, следя за световок картиной и используя лимбы поворотного механизма, устанавливают монокристалл в такое положение по отношению к пиле 9, чтобь разрезать его по требуемой кристаллографи ческой плоскости.

В результате устранения переноса кристал ла между операциями ориентации и резк

Предмет изобретения

Устройство для ориентированной резки монокристаллов, содержащее станок резки и систему ориентации, отличающееся тем, что, с целью повышения точности ориентированной резки, оптическая ось системы ориентации

совмещена с осью вращения кольцеобразной пилы, для чего шпиндель и прикрепленная к нему дисковая головка имеют сквозное отверстие вдоль их оси вращения, а в качестве экрана системы ориентации использована внутренняя стенка дисковой головки.

-1

I f - - -

I /СГГ