ИСПАРИТЕЛЬ ПОРОШКООБРАЗНЫХ МАТЕРИАЛОВ Советский патент 1968 года по МПК C23C14/26 

Известен испаритель порошкообразных материалов, состояш ий из нагревательного элемента, выполненного в виде спирали, внутрь которой вставлен тигель с испаряемым веществом. В таком испарителе химический состаз испа:ряемого материала изменяется от одного напыления к другому, что ведет к плохой воспроизводимости физических СВОЙСТ1В пленок, скорость и поверхность испарения с расходом испаряемого материала изменяются, величина загрузки испаряемого материала ог/раничена.

Предложенный испаритель отличается от известного тем, что для воспроизводимости физических свойств напыляемых пленок, а также для обеспечения независимости скорости и ооверхности испарения от расхода испаряемого материала, нагревательный элемеит выполнен в виде перфоряфованной ленты. Кроме того, для равномерной подачи испаряемого материала к напревательному элементу, механизм подачи представляет собою цилиндр с поршнем.

На чертеже изображена схема испарителя. Испаритель содержит нагревательный элемент 1, выполненный в виде ленты из тугоплавкого материала (тантал, ниобий, молибден -и т. д.) с отверстиями в центральной части, цилиндр 2 для испаряемого материала с поршнем 3, обеспечиваюш,им равно мерную подачу испаряемого материала к нагревательному элементу. Цилиндр с поршнем установлен под нагревательным элементом, а нагревательный элемент расположен между алундовыми кольцами 4. Кроме того, испаритель снабжен приводом 5 для перемешения паршня 3.

Испаритель работает следующим образом. В цилиндр 2 загружают испаряемое вещество и на нагревательный элемент подают соответствующее напрян ение (в зависимости

от свойств испаряемого вещества). При этом с поверхности материала, находящейся в посюянном контакте с нагревательным элементом, происходит непрерывное испарение этого вещества через отверстие в нагревательном

элементе.

Предмет изобретения

1.Испаритель порошкообразных материалов, содержащий нагревательный элемент,

емкость для испаряемого материала, отличающийся тем, что, с целью обеспечения воспроизводимости физических свойств напыляемых пленок и незавиоимости скорости и поверхности испарения от расхода нопаряемого

материала, нагревате пьный элемент выполнен в виде перфорированной ленты.

2.Испаритель по п. 1, отличающийся тем, что, с целью обеспечения равномерной подачи испаряемого материала к нагревательному