ФОТОПОЛИМЕРИЗУЮЩИЙСЯ ЛАК Советский патент 1968 года по МПК G03C1/68 

Фотополимеризующийся лак, .используемый при изготовлении печатных плат, полупроводниковых элементов, печатных схем, вытравляемых масок и защитных слоев. Этот лак обычно состоит из светочувствительного соединения, содержащего двойные этиленовые связи, сенсибилизатора, а иногда и стабилизатора против влияний температуры, связующего вещества или размягчителя.

Известно применение в качестве светочувствительных соединений сложных эфиров поливинилового спирта и ненасыщенной кислоты, например коричной, а также эфлров акриловой кислоты с полиэтиленгликолями, ацеталей поливинилового спирта, содержащих в ацетальных группах двойные этиленовые связи, а также 1мономерных ненасыщенных углеводородов. Однако соединения с эфирными или ацетильными группами недостаточно стойки к травящим средствам, а слои на основе мономерных ненасыщенных углеводородов большей частью не выдерживают механических напряжений.

С целью получения фотополимеризующегося лака, который при той же светочувствительности, что и известные, имеет больщую разрещающую способность, а также высокую прочность в отнощении травящих средств и растворителей, предлагается в качестве эфиров поливинилового спирта применять простые эфиры поливинилового спирта и ненасыщенных спиртов - аллилового и коричного со степенью этерификации гидроксильных групп на менее 20 %

Указанные соединения растворяют в органических растворителях и используют в качестве лака. Для этих растворов стабилизаторы не требуются. Получаемый таким образом лак обладает высокой светочувствительностью и большой разрещающей способностью. Он сенсибилизируется обычным способом с помощью красителей. По своей стойкости по отнощению к травлению, в частности, по отнощению к соединениям фтора, он превосходит известные фотополимеризующиеся соединения. Слои лака известным методом могут быть термически задублены.

Ненасыщенные простые эфиры поливинилового спирта, содержащие не менее 20% ненасыщенных эфирных групп, получают известными приемами, например сополимеризацией соответствующих лМономеров или этерификацией поливинилового спирта в жлдком аммиаке с металлическим натрием и алкениль-ными или аралкенильными галогенидами, а также при определенных условиях с последующей этер.ификацией и/или ацетилированием.

групп, получают этерификацией поливинилового спирта с мол. весом 35000-40000 в жидком аммиаке. Приблизительно 3 %-ный раствор этого эфира в ледяной уксусной кислоте наносят на стеклянную пластину. После просушивания пластину освещают за ртутной лампой высокого давления (модель НВО-200) на расстоянии 20 см 10 мин, а затем 3-5 мин проявляют в ледяной уксусной кислоте. Эта пластина даже без задубливания устойчива в течение 5 мин против действия 33%-ного водного раствора фтористого аммония. После 45 мин термического задубливания пластины при 180°С ее устойчивость к указанному раствору фтористого аммония возрастает более чем до 15 мин. К действию концентрированной серной и азотной кислот пластина устойчива в течение нескольких часов.

Пример 2. 100 вес. ч. поливинилаллилового эфира .из поливинилового спирта с мол. весом от 20000 до 25000, получаемого аналогично описанному в примере 1, в виде 2 %-ного раствора в этаноле при добавлении 5 .вес. ч. кетона Михлера наносят на стеклянную пластину. Освещен.ия в течение 1 мин при условиях, описанных в примере 1, достаточно для того, чтобы слой хорошо проявился.

Пример 3. Из полив.инилциииамоильиого эфира средней степени полимеризации готовят 3 %-ный раствор в ледяной уксусной кислоте, который затем «аносят на оксидированную поверхность кремвиевой пластины. Пластину высушивают и освеш,ают в течение 7 мин за ртутной лампой, после чего проявляют 5 мин в ледяной уксусной кислоте и подвергают термическому задубл.иванию. Получаемый при этом слой лака устойчив по меньшей мере 35 мин к действию 33 %-ного водного раствора фтористого аммония.

.Предмет изобретения

Фотополимеризующийся лак на основе эфиров поливинилового спирта, отличающийся тем, что, с целью придания фотополимеризующемуся лаку большой разрешаюш,ей способности и высокой прочности по отношению к травящим средствам и растворителям, в качестве эфиров поливинилового сп.ирта в нем применены простые эфиры поливинилового

сп.ирта и ненасыщенных спиртов - аллилового и коричного со степенью этерификации гидроксильных групп «е менее 20 %.