Способ плазменного нанесения пленок Советский патент 1975 года по МПК H01F41/14 H05H1/22 H01J37/34 C23C15/00 

Известные способы плазменного йанесёния пленок заключаются в расплавлении наносимого вещества в разрядной камере высокочастотного безэлектродного плазматрона и транспортировке его к обрабатываемой поверхности с помощью струи инертного рабочего газа, например аргона.

Однако в этих способах сложна система подачи наносимого вещества, мала контролируемость процесса и качество наносимых пленок невысокое.

Для упрощения пропесса и улучщения его контролируемости, а также повыщения плотности наносимой пленки по предлагаемому способу из наносимого вещества изготовляют твердый вкладыщ, который вводят в разрядную камеру высокочастотного плазматрона. Нанесение покрытия происходит в результате эрозии вкладыша при взаимодействии его с газоразрядной плазмой. Благодаря пространственной неоднородности температуры в зоне разряда положение вкладыша относительно этой зоны определяет скорость нанесения пленки.

Существуют вещества, из которых невозможно выполнить твердый вкладыш. Для получения пленок эти материалы наносят в виде суспензии на твердый вкладыш из другого подходящего материала с последующим введением его в камеру плазматрона.

Предмет изобретения

Способ плазменного нанесения пленок, заключающийся в расплавлении наносимого вещества в разрядной камере высокочастотного безэлектродного плазматрона и транспортировке его к обрабатываемой поверхности с помощью струи инертного рабочего газа, например аргона, отличающийся тем, что, с целью упрощения процесса и улучшения его контролируемости и увеличения плотности покрытия, изготовляют твердый вкладыщ из наносимого материала и вводят его в разрядную камеру плазматрона, а скорости эрозии вкладыша и нанесения пленки регулируют изменением температуры плазмы.